切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    123456
    • 11287阅读
    • 55回复

    [分享]一种新的离轴倾斜照明系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线hhxxgg00
    论坛版主
     
    发帖
    1470
    光币
    13129
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2015-06-29
    关键词： 照明系统
    为了满足超大规模集成电路的发展需要, 投影光刻技术得到了飞速发展, 投影光刻机分辨力的提高始终成为微光刻技术的核心问题。i 线和深紫外( 2 4 8n m ) 光学光刻与x 射线光刻相比就实现技术难点和实现成本而言, 已成为亚半微米微细图形制造工艺技术中的首选设备。然而靠增大数值孔径和缩短曝光波长提高实际分辨力是有限的, 这主要是由于焦深会随数值孔径的增大和波长的缩短而迅速减小, 在现有的半导体制作工艺水平下难以实现。为此, 寻求既不影响焦深又能提高分辨力的新方法已成为近年来人们研究的热点, 出现了诸如离轴照明, 移相掩模, 光瞳滤波, 表面成像和多焦面曝光等新技术。
    附件设置隐藏，需要回复后才能看到
     
    这个时代，每个人都在大声说话，每个人都在争分夺秒。我们用最快的速度站上高度。但是也在瞬间失去态度。当喇叭声遮盖了引擎声，我们早已忘记，谦谦之道才是君子之道。你问我这个时代需要什么，在别人喧嚣的时候安静，在众人安静的时候发声。不喧哗，自有声。
    回复
    举报
    分享到
    离线dahai
    助理工程师
    发帖
    414
    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2015-06-29
    好东西，谢谢楼主分享
    回复
    举报
    离线hzdp
    论坛版主
    发帖
    1004
    光币
    7907
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2015-06-30
    学习学习
    回复
    举报
    离线zcp12121212
    助理工程师
    发帖
    741
    光币
    29
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2015-07-01
    看一下~~~~
    回复
    举报
    离线jccqqqqq
    助理工程师
    发帖
    403
    光币
    373
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2015-07-01
    看看怎么回事 IO`.]iG  
    回复
    举报
    离线jiuxs
    实习生
    发帖
    105
    光币
    0
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 2015-07-01
    好东西，谢谢楼主分享
    回复
    举报
    离线optic37world
    技术员
    发帖
    151
    光币
    115
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2015-07-01
    很好，学习中。。。。。。。
    回复
    举报
    离线moth
    助理工程师
    发帖
    504
    光币
    1461
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 2015-07-01
    ..........
    回复
    举报
    离线mang2004
    论坛版主
    发帖
    2411
    光币
    11268
    光券
    0
    只看该作者 8楼 发表于: 2015-07-01
    thanks for share.
    回复
    举报
    离线zpx1007
    实习生
    发帖
    89
    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 9楼 发表于: 2015-07-03
    高大上的东西
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表
    123456