工作压强范围（Pn-Pm）：泵能正常工作的压强范围 I9hK } D
几种常用真空泵的工作压强范围： 7O-x<P;
旋片机械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa 扩散泵100-10-5pa 涡轮分子泵101-10-8pa 溅射离子泵100-10-10pa 低温泵10-1-10-11pa FQ5U$x. [P
几种常用真空泵的工作原理
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l 旋片机械泵 ~FG]wNgS
工作过程是： 吸气—压缩—排气。 v
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定子浸在油中起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。 [K0(RDV)%
主要参量是： 抽速和极限压强。 '16b2n+F@#
由于极限压强较高， 常用做前级泵(预抽泵)。 fS78>*K
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旋片式机械泵 ^,T(mKS
l 油扩散泵 HRfYl,S,
工作过程是：油蒸发—喷射—凝结，重复循环 _>X+ZlpU:
由于射流具有高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地带走气体分子。 j\^CV?}sm'
扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。 UrEs4R1#
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1. 水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 导流管；4. 泵壳； 5. 加热器 @QP z #-
l 涡轮分子泵 *wB 1 ,U{
工作过程是：高速旋转叶片(30000转/分)—对气体分子施以定向动量—压缩—排气。 .5ha}= z
优点：无油，洁净，启动快，制动快，可忍受大气冲击。 p4
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缺点：由于高速旋转，不能在磁场中使用，否则会产生涡流，导致叶轮发热、变形等严重后果，对氢气等轻质气体抽速较小， 价格昂贵。 ExL0?FemWV
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1. 动叶轮；2. 泵壳；3. 涡轮排；4. 中频电动机；5. 底座； VQ9/Gxdeo
6. 出气口法兰；7. 润滑油池；8. 静叶轮；9. 电机冷却水管. lp%pbx43s
真空镀膜 C1 GKLl~
n 真空溅射：当高能粒子(电场加速的正离子)打在固体表面时，与表面的原子、分子交换能量，从而使这些原子、分子飞溅出来。 6zuTQ^ pz
n 真空蒸发：在真空中把制作薄膜的材料加热蒸发，使其淀积在适当的表面上。 H*'IK' O
n 真空蒸发镀膜简介 %2V? ,zY@
l 真空系统(DM—300镀膜机) [j/9neay e
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真空系统(DM—300镀膜机) 0[?Xxk}s0
l 蒸发系统 fSvM(3Y<Qh
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蒸发系统 K: # I
l 蒸发源 -**g~ty)
蒸发源的形状如下图，大致有螺旋式(a)、篮式(b)、发叉式(c)和浅舟式(d)等。 |[ai JR[Q
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蒸发源 o9yJ f#-En
n 膜厚的计算 nazZ*lC
在真空中气体分子的平均自由程为：L = 0.65 / p (cm)，其中p的单位是Pa。当p = 1.3×10-3 Pa时，L≈500 cm。L>>基片到蒸发源的 距离，分子作直线运动。 5 IjGm
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设蒸发源为点蒸发源，单位时间内通过任何方向一立体角dω的质量为： 0rs"o-s<
蒸发物质到达任一方向面积元ds质量为： ]Wlco
设蒸发物的密度为ρ，单位时间淀积在ds上的膜厚为t，则： 比较以上两式可得： y(yHt= r
v\%HPMlh
[MM~H0=s
对于平行平面ds，φ=θ，则上式为： 1JG'%8}#8
由： 可得： YHygo#4=8
在点源的正上方区域 (δ=0)时： 4*cEag
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