我们用光驰OTFC-1100机器做的窄带,用间控光控控制,晶控辅助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心
波长在1071nm,半波带宽20nm。
i\hH .7G1 本来是成熟膜系,已经做了有2年时间了,一直很稳定,
(}E-+:vFU 但是最近出现膜系无规律漂移现象,中心波长或漂移向长波,或短波,漂移距离从4--20nm。
HgL*/d 本来出现漂移也是正常现象,但是现在是完全无规律啊,有可能连续3罩次是没有变化的,也有可能是每罩次都不一样。
0w^\sf%s 最开始怀疑是单色仪出问题,也就是控制波长不准确。送厂检测,用厂家来替换的单色仪做了几次,还是一样。
j$r .&,m 厂家说可能 是光控托盘有问题,换了一个,还是一样。
R{{d4=:S 其后还做了很多工作,都没有解决问题,
3l5rUjRwj 在这里请教各位同行,谁做窄带,或者用光驰机器出现这种情况的是什么原因,怎么解决的?
l*]9 先谢过啦。