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    [讨论]窄带滤光片无规律漂移现象 [复制链接]

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    离线haisheng_0_0
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2015-04-13
    我们用光驰OTFC-1100机器做的窄带,用间控光控控制,晶控辅助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心波长在1071nm,半波带宽20nm。 i\hH .7G1  
    本来是成熟膜系,已经做了有2年时间了,一直很稳定, (}E-+:vFU  
    但是最近出现膜系无规律漂移现象,中心波长或漂移向长波,或短波,漂移距离从4--20nm。 HgL*/d  
    本来出现漂移也是正常现象,但是现在是完全无规律啊,有可能连续3罩次是没有变化的,也有可能是每罩次都不一样。 0w^\sf%s  
    最开始怀疑是单色仪出问题,也就是控制波长不准确。送厂检测,用厂家来替换的单色仪做了几次,还是一样。 j$r.&,m  
    厂家说可能 是光控托盘有问题,换了一个,还是一样。 R{{d4=:S  
    其后还做了很多工作,都没有解决问题, 3l5rUjRwj  
    在这里请教各位同行,谁做窄带,或者用光驰机器出现这种情况的是什么原因,怎么解决的? l*]9   
    先谢过啦。
     
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    离线dumoty
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    只看该作者 1楼 发表于: 2015-04-13
    要是蒸镀过程没有问题,看下供电稳定不,冷却水是否有问题。我遇到过冷却水脏了,导致的成膜不稳定
    离线haisheng_0_0
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    只看该作者 2楼 发表于: 2015-04-14
    回 dumoty 的帖子
    dumoty:要是蒸镀过程没有问题,看下供电稳定不,冷却水是否有问题。我遇到过冷却水脏了,导致的成膜不稳定 (2015-04-13 13:28)  G[u_Uu=>  
    G 8|[.n  
    哦?这个倒是没考虑过,但我们冷却水是定期换的啊
    离线meron
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    只看该作者 3楼 发表于: 2015-05-06
    那你的膜料的质量怎样?纯度、颗粒度等是不是和原来的那种膜料一样?
    离线op1163
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    只看该作者 4楼 发表于: 2015-10-11
    这个原因太多了,你先要确定你镀膜滴标准要是一致滴,如果你确定你几没问题,你可以在没镀一伞前把你监控片,和监控器确认一下等,如果有需要可以我愿意和您一起探讨解决。