博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用

一）、博开超高低温泵 N]G`]  
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二）、博开DZB400低温泵应用 h\8bo=  
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一、设备情况： _Fjax  
1、设备腔体尺寸直径1.1米； GGFrV8  
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； qtp-w\#S$  
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； ,km`-6.2?  
二、使用情况： 3.%jet1  
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 Ev&aD  
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 u)l[*";S  
三、对比 (-{.T  
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 Zy6>i2f4f  
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 83Fmu/(  
                b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， 7Y^2JlZu=  
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 G)%r|meKGB  
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 $oZ
V 54  
三）、博开DZB720低温泵应用 Tg v]30F)  
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一、设备情况 `e5f69"  
1、设备腔体尺寸直径1.3米 ?gS~9jgcd  
2、前级泵：两台机械泵+   罗茨泵 1@`mpm#Y  
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台   =7zvp,B  
二、抽真空情况 ~93+Oxg  
附；真空度时间记录表； 7[(<t+  
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