博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用

一）、博开超高低温泵 \i&vO
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二）、博开DZB400低温泵应用 e0G}$ as  
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一、设备情况： o|p;6  
1、设备腔体尺寸直径1.1米； 7Y_fF1-wY  
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； zx_O"0{5  
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； } Y7W1$he  
二、使用情况： o[
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1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 N4Fy8qU;  
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 T9U2j-lA?  
三、对比 ,_5YaX:<4  
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 xqi*N13  
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 rhzv^t  
                b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， ^J*G%*  
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 %Mb( c+7  
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 F'Y2f6B  
三）、博开DZB720低温泵应用 eD` ,  
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一、设备情况 ?( dYW7S  
1、设备腔体尺寸直径1.3米 NP<F==,  
2、前级泵：两台机械泵+   罗茨泵 %M0mwty]  
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台   x(/@Pt
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二、抽真空情况 $<>EwW  
附；真空度时间记录表； aJa^~*N/Aa  
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