博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用

一）、博开超高低温泵 c6 O1Z\M@\  

描述:DZB250UV超高真空泵1

图片:DZB250UV超高真空泵1.jpg

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描述:DZB250UV超高真空泵3

图片:DZB250UV超高真空泵3.jpg

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描述:DZB250UV超高真空泵2

图片:DZB250UV超高真空泵2..jpg

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二）、博开DZB400低温泵应用 UO3Q
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描述:DZB400低温泵在1.1米镀膜设备的应用

图片:DZB400低温泵在1.1米镀膜设备的应用.jpg

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一、设备情况： -TIrbYS`  
1、设备腔体尺寸直径1.1米； 3O{*~D&n  
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； sZ~q|}D-  
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； 2t9JiH  
二、使用情况： c eH8  
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 BGk>:Z`  
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 M5$YFGGR  
三、对比 Gk"o/]Sf  
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 QU`M5{#  
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 cvoE4&m!  
                b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， uJBs3X  
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 . X(^E  
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 !_zp'V]?  
三）、博开DZB720低温泵应用 r
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描述:DZB400低温泵在1.1米镀膜设备的应用

图片:DZB720低温泵在1.3米镀膜设备的应用.jpg

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描述:DZB720低温泵在1.3米镀膜设备的真空情况

图片:DZB720低温泵在1.3米镀膜设备的真空情况.jpg

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一、设备情况 .Vohd@s9l  
1、设备腔体尺寸直径1.3米 Vjv~RNGF  
2、前级泵：两台机械泵+   罗茨泵 87QK&S\  
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台   z]/;?  
二、抽真空情况 i=m5M
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附；真空度时间记录表； HC%tJ:G  
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