博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用

一）、博开超高低温泵 nF/OPd  

描述:DZB250UV超高真空泵1

图片:DZB250UV超高真空泵1.jpg

ze;KhUPRm  
IM+o.@f-  

描述:DZB250UV超高真空泵3

图片:DZB250UV超高真空泵3.jpg

>i O!*&Y>  
O1kl70,`R  

描述:DZB250UV超高真空泵2

图片:DZB250UV超高真空泵2..jpg

(9h`3#  
)_NO4`ejs/  
\C1nZk?3  
E!AE4B1bd  
二）、博开DZB400低温泵应用 WjjB<YKzF  
p<;0g9,1  
{y;n:^  

描述:DZB400低温泵在1.1米镀膜设备的应用

图片:DZB400低温泵在1.1米镀膜设备的应用.jpg

39jG8zr=Z[  
vcd\GN*4f  
一、设备情况： *9i{,I@  
1、设备腔体尺寸直径1.1米； #89!'W  
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； \|ao`MMaD<  
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； KYN0  
二、使用情况： 3k?X-|O8AZ  
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 ~v"L!=~G;a  
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 C8\^#5  
三、对比 bJ;'`sw1  
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 {zFMmPid  
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 MJrR[h]  
                b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， ;S*}WqP,  
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 bs'n+:X`  
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。  RX5dO%  
三）、博开DZB720低温泵应用 x3krbUlx  

描述:DZB400低温泵在1.1米镀膜设备的应用

图片:DZB720低温泵在1.3米镀膜设备的应用.jpg

r"R#@V\'1b  
d`6 'Z  

描述:DZB720低温泵在1.3米镀膜设备的真空情况

图片:DZB720低温泵在1.3米镀膜设备的真空情况.jpg

Hq 188<  
"g#i'"qnW  
<d_!mKw  
eR"<33{  
一、设备情况 9&ids!W~yx  
1、设备腔体尺寸直径1.3米 1!gbTeVlY  
2、前级泵：两台机械泵+   罗茨泵 <"|,"hA  
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台   IaXeRq?<  
二、抽真空情况 N
.{D$"  
附；真空度时间记录表； &8 x-o,  
6K<K  
O0y_Lm\  
以上发表紧代表个人，仅供参考， }>X~  
有兴趣了解或意向购买可以加我Q；811651228， ?I@
W:#>o  
或邮箱：lishuai@bwokai.com ""|Qtubv  
也可电话：15067976093 李 ?3xzd P  
欢迎一起学习讨论； RdML3E