193nm长工作距离深紫外物镜

发布:1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读:2244
香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜,工作距离可达1.5mm,NA:0.6. Rh}}8 sv  
\q($8<  
性能参数 ZDG~tCh=@  
Ul_ 5"3ze  
ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
7nm'v'\u+V  
JM1O7I  
注:有限远共轭 ,ZghV1z  
6hMKAk  
2.外形尺寸
Fc#Sn2p*  
^T:L6:  
ZNVrja*  
U9ZuD40\  
3.成像质量测试报告 fy]c=:EmD  
2X<%BFsE  
|kH.o=  
4.检测结果 SJ91(K  
'W,*mfB  
4.1焦距测量 B0U(B\~Y  
?&'Kw>s@  
e|?eY)_  
焦距测量的测试波长为绿光(540nm),该波长下的显微物镜焦距为5.6mm,实测焦距为5.3mm hq&|   
ue^HhZ9  
4.3 透过率测量 h%U}Y5Ps~  
eF]8Ar1  
wVqp')e  
陪镀片的剩余反射率曲线
  • 利用陪镀片进行测量,陪镀片厚度:8mm;
  • 结果:内透过率:99.6%;零件透过率:98.4%;单面透过率:99.485%
  • 整体透过率为94%(193nm处)。
&?1O D5  
06O_!"GD}  
4.2像质检测 2"HTD|yy  
,-hbwd~M  
a)    显微物镜对目标(小孔)所成的像 r;xy/*%Mtj  
               :hT.L3n,  
c<,LE@ V  
  b)能量集中度曲线 c7~R0nP  
obE8iG@H  
Pz34a@%"  
c) 点扩散函数
HCsd$M;Hbv  
y>.t[*zT  
5. 实物照片 5JhvYsf3_  
PW|=IPS  
同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。
分享到:

最新评论

过客2014 2015-07-24 08:53
你好,请问你对准分子激光器了解吗?有一些这方面的问题想咨询一下,希望你能帮帮忙,不胜感激。我qq号:1015638865
1983pengya 2015-09-23 00:34
可以,我们本身就代理GAM的准分子激光器,请联系 QQ:75398714 C=V2Y_j  
F'b%D  
内容来自[短消息]
京京椰树 2019-03-13 14:16
这个很厉害了
我要发表 我要评论
限 50000 字节
关于我们
网站介绍
免责声明
加入我们
赞助我们
服务项目
稿件投递
广告投放
人才招聘
团购天下
帮助中心
新手入门
发帖回帖
充值VIP
其它功能
站内工具
清除Cookies
无图版
手机浏览
网站统计
交流方式
联系邮箱:广告合作 站务处理
微信公众号:opticsky 微信号:cyqdesign
新浪微博:光行天下OPTICSKY
QQ号:9652202
主办方:成都光行天下科技有限公司
Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1