193nm长工作距离深紫外物镜

发布:1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读:2132
香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜,工作距离可达1.5mm,NA:0.6. #m{*]mY@  
qclc--fsE  
性能参数 M] /aW  
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ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
?[NC}LC  
TI< x;p  
注:有限远共轭 #[lhem]IC  
&o;0%QgF  
2.外形尺寸
!ou#g5Q@z  
_2hLc\#  
CG=c@-"n/  
ls]N&!/hq  
3.成像质量测试报告 ~dRstH7u  
L#UR>Z#9  
,=m.WmXE  
4.检测结果 3Hom0g,V4  
;J5z  
4.1焦距测量 5h#h>0F  
cu0IFNF}[  
 XTJD>  
焦距测量的测试波长为绿光(540nm),该波长下的显微物镜焦距为5.6mm,实测焦距为5.3mm -Qn7+?P  
2L^)k?9>g+  
4.3 透过率测量 3N+lWuE}K  
Y7VO:o  
:-k|jt  
陪镀片的剩余反射率曲线
  • 利用陪镀片进行测量,陪镀片厚度:8mm;
  • 结果:内透过率:99.6%;零件透过率:98.4%;单面透过率:99.485%
  • 整体透过率为94%(193nm处)。
i U$ ~H  
G-Tmk7m  
4.2像质检测 b]+F/@h~]  
F`nQS&y  
a)    显微物镜对目标(小孔)所成的像 Mn.,?IF`K  
               ~-BF7f 6C  
a[O6xA%  
  b)能量集中度曲线 YZBh}l6t  
37/n"\4  
WKEb '^  
c) 点扩散函数
>0IZ%Wiz  
&[.`xZ(|  
5. 实物照片 I9*cEZ!l=e  
d!y*z  
同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。
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最新评论

过客2014 2015-07-24 08:53
你好,请问你对准分子激光器了解吗?有一些这方面的问题想咨询一下,希望你能帮帮忙,不胜感激。我qq号:1015638865
1983pengya 2015-09-23 00:34
可以,我们本身就代理GAM的准分子激光器,请联系 QQ:75398714 }SN( ^3N  
n|SV)92o1  
内容来自[短消息]
京京椰树 2019-03-13 14:16
这个很厉害了
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