193nm长工作距离深紫外物镜

发布：1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读：2024

香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6.

性能参数

ITEM#	COATING	M	WD	EFL	NA	TFS	EA	L	SPOTSIZE
XWJ-40X-UV	UV	40×	1.5mm	4.4mm	0.6	1μm	5.3mm	43.5mm	1μm

注：有限远共轭 N9M",(WTt}
rFUd
2.外形尺寸

3.成像质量测试报告 m Ph=bG

4.检测结果

4.1焦距测量 ~y whl'"k

焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm

4.3 透过率测量 L"0?g(< 5

陪镀片的剩余反射率曲线

利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 ][YuJUK8
"|R75m,Id
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 DG&aFmC
               a:4!z;2 |
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  b)能量集中度曲线 #.C2_MN>
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O`aNNy
c) 点扩散函数

5. 实物照片 "5?1S-Vl

同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。

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