193nm长工作距离深紫外物镜

发布：1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读：2340
香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6. GA[Ebzi  
9Q=VRH:  
性能参数 ep=r7Mft  
`mzlOB  
ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
KEtV  
Vf;&z$D{r  
注：有限远共轭 z3y{0<3  
9T;4aP>6j#  
2.外形尺寸 :a6LfPEAX  
V_:`K$  
l3sF/zkH  
7Y9#y{v1  
3.成像质量测试报告 ao2^3e  
 O;~e^ <*  
1(-!TJ{  
4.检测结果 ~.aR=m\#  
&1$d`>fn  
4.1焦距测量 z~#;[bER  
 =SXdO)%2  
EY)2,  
焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm B W<Dmn  
eCYPd-d  
4.3 透过率测量 mY.v:  
 $DoR@2 ~y  
hI'WfF!X  
陪镀片的剩余反射率曲线
  • 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
  • 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
  • 整体透过率为94%（193nm处）。
rZKfb}ANQ  
Q,[G?vbj  
4.2像质检测 ^O18\a  
iM@$uD$_Q2  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 umIGI  
               i)?7+<X  
C`hdj/!A  
  b)能量集中度曲线 23wztEp{a  
6nZ]y&$G-k  
~Q&J\'GQH  
c) 点扩散函数 _#u\ar)  
5MVa;m  
5. 实物照片 inWLIXC,  
 'OsZD?W{  
同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。
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最新评论

过客2014 2015-07-24 08:53
你好，请问你对准分子激光器了解吗？有一些这方面的问题想咨询一下，希望你能帮帮忙，不胜感激。我qq号：1015638865
1983pengya 2015-09-23 00:34
可以，我们本身就代理GAM的准分子激光器，请联系 QQ：75398714 iXDG-_K  
S(gr>eC5  
内容来自[短消息]
京京椰树 2019-03-13 14:16
这个很厉害了
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