193nm长工作距离深紫外物镜

发布：1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读：2195
香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6. mPG7Zy$z  
-)RJ\V^{9  
性能参数 xiCN qk3  
4swKjN &  
ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
f[}|rf  
t:T?7-XIE  
注：有限远共轭 '=#5(O%pp  
=YHt9fb$c  
2.外形尺寸 Spo +@G  
xYwkFB$$*  
?gG,t4D  
q,@+^aZ  
3.成像质量测试报告 `Cg^in\  
 l&|)O6N  
U`1l8'W}:#  
4.检测结果 \JU{xQMB  
>?V<$>12  
4.1焦距测量 H"D 5 e  
 0!_*S )  
(3O1?n[n  
焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm fYn{QS?  
WgPgG0VJE  
4.3 透过率测量 H%C\Uz"o  
  f`J|>Vk  
Yrsp%<qj  
陪镀片的剩余反射率曲线
  • 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
  • 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
  • 整体透过率为94%（193nm处）。
?l 9=$'  
@/(@/*+"  
4.2像质检测 O9*p0%ug  
Bk@WW#b  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 +V1}@6k :  
               k/bque  
ymkR!  
  b)能量集中度曲线 I.9o`Q[8&  
$}4K`Iu  
-#%X3F7/w  
c) 点扩散函数 $m8leuo)  
8 }z3CuM  
5. 实物照片 XN(tcdCG  
 T3rn+BxF7  
同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。
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最新评论

过客2014 2015-07-24 08:53
你好，请问你对准分子激光器了解吗？有一些这方面的问题想咨询一下，希望你能帮帮忙，不胜感激。我qq号：1015638865
1983pengya 2015-09-23 00:34
可以，我们本身就代理GAM的准分子激光器，请联系 QQ：75398714 9t}J|09i  
#]X2^ND4 7  
内容来自[短消息]
京京椰树 2019-03-13 14:16
这个很厉害了
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