193nm长工作距离深紫外物镜

发布：1983pengya 2015-04-01 00:12 阅读：2129
香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6. 4<j)1i=A  
v}vwk8  
性能参数 p_^Jr*Mv  
g4Y1*`}2f  
ITEM#COATINGMWDEFLNATFSEALSPOTSIZE
XWJ-40X-UVUV40×1.5mm4.4mm0.61μm5.3mm43.5mm1μm
ljr?Z,R4  
q5@N//<DNN  
注：有限远共轭 Q L0  
|"j{!Ei  
2.外形尺寸 FX"j8i/N  
Bri yy  
u,E_Ezq  
,;&j*qFi  
3.成像质量测试报告 O[$,e%  
 b3'U }0Ug  
0j}!4D+  
4.检测结果 v[++"=< o8  
}Kt`du=  
4.1焦距测量 V8Lp%*(3  
 M<nKk#!+h  
})?t:zX#*  
焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm  ;rH<  
U ]o  
4.3 透过率测量 bdS  
 YadG05PDe  
@%aU)YDwi  
陪镀片的剩余反射率曲线
  • 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
  • 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
  • 整体透过率为94%（193nm处）。
`(2Y%L(r  
(_9u<  
4.2像质检测 | e? :Uq  
,Y) 7M3I  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 *n"{]tj^>  
               -nHt6AbqP  
>8v4fk IK  
  b)能量集中度曲线 })V^t3  
qKSS 2f $  
R [qfG! "  
c) 点扩散函数 IonphTcU!  
Z,jR:_ p  
5. 实物照片 j[ fE^&  
 Iez`g<r  
同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。
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最新评论

过客2014 2015-07-24 08:53
你好，请问你对准分子激光器了解吗？有一些这方面的问题想咨询一下，希望你能帮帮忙，不胜感激。我qq号：1015638865
1983pengya 2015-09-23 00:34
可以，我们本身就代理GAM的准分子激光器，请联系 QQ：75398714 M669G;w(K  
3+4U?~^k*  
内容来自[短消息]
京京椰树 2019-03-13 14:16
这个很厉害了
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