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    [求助]PBS膜为什么光胶不上? [复制链接]

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    离线pathoptics
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2014-12-04
    深化光胶的一对棱镜镀膜,棱镜面积25mmx45mm,成都南光机。 A面镀PBS膜  Tp>97%, Ts<0.5% @ 1500+/- 40nm,  TiO2+SiO2, 25层  6018nm, 最外层镀100nm SiO2。 B面镀单层100nm SiO2。 镀膜后Zygo 测量A,B 面的面形在相同等级,具体数据如下: 8 -;ZPhN&  
    3 ?F@jEQk  
    棱镜编号 1234
    膜系 PBS(A面)PBS(A面)SiO2(B面)SiO2(B面)
    镀后面形PV(Fr)0.8540.5330.6150.728
     RMS(Fr)0.1380.0910.1030.117
     Power(Fr)-0.644-0.1940.0480.197
    H$amt^|zQ4  
    镀后 B面2件可以正常光胶,但 A面和B面却光胶不上。 m 1i+{((  
    PV6 *-[  
    请问可能是什么原因?
     
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    离线jiangguang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2015-03-03
    表面光洁度把