精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 *-12VIG'H  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 ?X-)J=XG  
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目录 [|~2X>  
前言 @ a4/ELx  
第1章绪论 QaGlR`Y  
1.1概述 CdUAy|!`R  
1.2光学元件质量评价 x'zBK0i  
1.2.1表面质量评价 BI:k
#jO!  
1.2.2亚表面质量评价 "/]| Hhc{  
1.3干涉测量基础知识 ms_ VM>l  
1.3.1干涉原理 5`]UE7gT  
1.3.2典型干涉测量结构 /cK%n4l.y  
第2章子子L径拼接轮廓测量 P"lBB8\eku  
2.1概述 4 V1bLm  
2.2圆形子孔径拼接 xvNo(>  
2.2.1拼接原理 X1tXqHJF}  
2.2.2拼接算法 !vn1v)6  
2.3环形子孔径拼接 NWfAxkz{/  
2.3.1孔径划分 >\ u<&>i  
2.3.2拼接原理
AkU<g  
2.3.3拼接算法 <}jPXEB"  
2.4广义子孔径拼接 QR">.k4QJ  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 J4=_w  
2.4.2计算机模拟 :y2p@#l#  
2.5子孔径拼接优化算法 T<-=nX  
2.5.1调整误差分量及其波像差 #tdf>?  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 D^U: ih  
2.5.3仿真研究 z^nvMTC  
2.6测量系统 Gq#~vr  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 !'=15&5@  
2.6.2实验研究 |KYEK|  
2.7超大口径拼接检测 LwuF0\  
2.7.1方案设计 g`k?AM\  
2.7.2拼接算法 uE=$p)  
2.8小结 7*wVI+  
参考文献 QHBtWQgS  
第3章接触式轮廓测量 +KEkmXZ  
3.1概述 S<nq8Ebmw  
3.2测量理论基础 o$.e^XL  
3.2.1测量原理 fU2qrcVu  
3.2.2坐标系和坐标变换 2}vg U$a  
3.2.3检测路径 1x~U*vbhQ  
3.2.4二次曲面系数研究 RQW6N??C  
3.2.5离轴镜测量模型 ZiFooA  
3.3测量系统 ]+DI.%   
3.3.1测头系统 _U|7'^|  
3.3.2系统设计 wyxGe<1  
3.4误差分析 ;oH,~|K  
3.4.1误差源分类 iO1nwl !#  
3.4.2固有误差 i;PL\Er:tX  
3.4.3随机调整误差 4y
}"Hy  
3.4.4接触力诱导误差 MVCl.o  
3.4.5高阶像差误差分析 $mA5@O~C5\  
3.5小结 VyG4(Xva  
参考文献 ^4v*W;Q  
第4章结构光轮廓测量 {}>n{_  
4.1概述 aaWJ* >rJ  
4.2基于结构光原理的测量方法 mV9A{h  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 -m 5}#P89  
4.2.2相位测量轮廓术 Zszs1{t  
4.2.3莫尔测量轮廓术 Lb=W;9;  
4.2.4卷积解调法 Fs/?  
4.2.5调制度测量轮廓术 ^a9 oKI9n  
4.3测量系统及其标定 oCi ~P}r  
4.3.1结构光三维测量系统 gd@p|PsS^  
4.3.2系统参数标定 [IM%b~j(^  
4.3.3快速标定方法 L$v^afP?  
4.4位相展开算法 Q}2[hB  
4.4.1位相展开的基本原理 (9fdljl],:  
4.4.2空间位相展开方法 \[wCp*;1}  
4.4.3时间位相展开方法 HO|-@yOF^  
4.4.4光栅图像采集与预处理 )E7 FA|  
4.5测量误差分析 cJ}QXuuUv  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 
(d2@Mz  
4.5.2非线性误差矫正方法 ~KIDv;HSb[  
4.6小结 SjcL#S($&Y  
参考文献 QBE@(2G}C  
第5章亚表面损伤检测 Xwu.AVsr  
5.1概述 6a}r( yP  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 nX%AeDBAT  
5.2.1产生机理 }3/~x  
5.2.2表征方法 P]<= ! F  
5.3亚表面损伤检测技术 wod/&!)]A  
5.3.1破坏性检测 s'a=_cN  
5.3.2非破坏性检测 R 4EEelSZu  
5.4工艺试验 mU{4g`Iw  
5.4.1亚表面损伤的测量 L0h G  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 !)OB@F%U  
5.4.3损伤抑制策略 o#i ]"  
5.5小结 )GB`*M[   
参考文献 89eq[ |G_  
第6章其他测量技术 ^3I'y UsY  
6.1移相干涉测量技术 ]YD(`42x  
6.2动态干涉测量技术 jD<pIHau  
6.3剪切干涉 ' lo.h""  
6.4点衍射干涉 x(r+P9f\<  
6.5白光干涉测量技术 r:l96^xs  
6.6外差干涉测量技术 pz}mF D&[  
6.7补偿法检测非球面 ,a(O`##Bn  
6.8计算全息法检测非球面 ?g
}kb  
参考文献 u35q,u=I  
文摘 *=nO  
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