精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 ;w;+<Rd  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 e$`;z%6y  
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目录 <uImZC  
前言 p'kB1)~|  
第1章绪论 \0;EHB  
1.1概述 E J&w6),d  
1.2光学元件质量评价 F8J\#PW  
1.2.1表面质量评价 xB_78X1  
1.2.2亚表面质量评价 -sx=1+\nf  
1.3干涉测量基础知识 jA3xDbM  
1.3.1干涉原理 G[+{[W  
1.3.2典型干涉测量结构 fskc'%x  
第2章子子L径拼接轮廓测量 To;r#h  
2.1概述 /tJ%gF  
2.2圆形子孔径拼接 /&em%/  
2.2.1拼接原理 Z*Fn2I4  
2.2.2拼接算法 >CYz6G j  
2.3环形子孔径拼接 }}LjEOvL=  
2.3.1孔径划分 *iUR1V Y  
2.3.2拼接原理 _z@_.%P\  
2.3.3拼接算法 gWl49'S>+  
2.4广义子孔径拼接 $VeQvm*  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 h$d`Jmaq  
2.4.2计算机模拟 @`nU=kY/  
2.5子孔径拼接优化算法 G)gPL]C0  
2.5.1调整误差分量及其波像差 {3BWT  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 (r-PkfXvIf  
2.5.3仿真研究 |~+bbN|b  
2.6测量系统 gb26Y!7%  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 ;Ouu+#s  
2.6.2实验研究 q+)s  
2.7超大口径拼接检测 A/OGF>  
2.7.1方案设计 RWZjD#5%Z  
2.7.2拼接算法 RaA7 U   
2.8小结 7G%^8 ce{!  
参考文献 Ku8qn\2"  
第3章接触式轮廓测量 : n\D  
3.1概述 Sj;:*jk!h  
3.2测量理论基础 9-.`~v  
3.2.1测量原理 .WS7gTw  
3.2.2坐标系和坐标变换 fK4NmdTV  
3.2.3检测路径 J6J; !~>_  
3.2.4二次曲面系数研究 1ifPc5j}  
3.2.5离轴镜测量模型 lmx'w  
3.3测量系统 ,Z(J;~  
3.3.1测头系统 ~./M5P!\  
3.3.2系统设计 ~t^'4"K*  
3.4误差分析 rk `]]  
3.4.1误差源分类 8'0KHn{#  
3.4.2固有误差 -P'c0I9z  
3.4.3随机调整误差  KRh?{  
3.4.4接触力诱导误差 {&h=  
3.4.5高阶像差误差分析 G:;(,  
3.5小结 ;CA7
\&L>  
参考文献 I z)~h>-F  
第4章结构光轮廓测量 &Fl*
,  
4.1概述 T0BM:ofx  
4.2基于结构光原理的测量方法 !qJ|`o Y  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 _UUp+
Hz  
4.2.2相位测量轮廓术 CQ#%v%  
4.2.3莫尔测量轮廓术 tSq`_[@  
4.2.4卷积解调法 EYU3Pl%  
4.2.5调制度测量轮廓术 FhMl+Ou  
4.3测量系统及其标定 R1\$}ep^  
4.3.1结构光三维测量系统 XD|vB+j\O  
4.3.2系统参数标定 ~'/_q4  
4.3.3快速标定方法 !Baq4V?KN  
4.4位相展开算法 ?)XPY<  
4.4.1位相展开的基本原理 !,N),xG}~  
4.4.2空间位相展开方法 2_;3B4GDF  
4.4.3时间位相展开方法 3EX41)u  
4.4.4光栅图像采集与预处理 0& ?/TSC  
4.5测量误差分析 TYgn X  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 QfsTUAfR  
4.5.2非线性误差矫正方法 D(Yq<%Q  
4.6小结 H3jb{S b  
参考文献 ch]Q%M  
第5章亚表面损伤检测 X" ;ly0Mb  
5.1概述 R6dD17  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 30$Q5]T  
5.2.1产生机理 O$ ;:5zT  
5.2.2表征方法 2~SjRIpUw  
5.3亚表面损伤检测技术 }\_[+@*EJ  
5.3.1破坏性检测 !_=3Dz  
5.3.2非破坏性检测 xnG,1doa  
5.4工艺试验 9-N*Jhg  
5.4.1亚表面损伤的测量 )6Qk|gIu(  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 ""^.fh  
5.4.3损伤抑制策略 9oJ=:E~CP  
5.5小结 *dm?,~f%<  
参考文献 lBnG!!VrWa  
第6章其他测量技术 I4^}C;p0?  
6.1移相干涉测量技术 6GtXM3qtS  
6.2动态干涉测量技术 C!aK5rqhv  
6.3剪切干涉 9% AL f 9  
6.4点衍射干涉 $@:z4S(  
6.5白光干涉测量技术 3ws}E6\D  
6.6外差干涉测量技术 jaImO  
6.7补偿法检测非球面 o%\p
I%  
6.8计算全息法检测非球面 j{u!/FD  
参考文献  *$o{+YP  
文摘 o]|a5.O  
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