精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 q+t*3;X.  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 K3?7Hndf2  
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目录 Te2XQU2,F  
前言 VbK| VON[  
第1章绪论 ^o|igyS9  
1.1概述 aD3'gc,l  
1.2光学元件质量评价 PR~ho&!  
1.2.1表面质量评价 @y9_\mX!s  
1.2.2亚表面质量评价 1I KDp]SN  
1.3干涉测量基础知识 $t-HJ<!  
1.3.1干涉原理 L]kSj$A  
1.3.2典型干涉测量结构 ,jbj-b(  
第2章子子L径拼接轮廓测量 ]gkI:scPA  
2.1概述 fT/;TK>z>  
2.2圆形子孔径拼接 _7]*
5Pxo  
2.2.1拼接原理 qbHb24I  
2.2.2拼接算法 `>'E4z]-_  
2.3环形子孔径拼接  {Rjj  
2.3.1孔径划分 bKmR &  
2.3.2拼接原理 "m
_wYX  
2.3.3拼接算法 N4}/n  
2.4广义子孔径拼接 hI;tB6  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 A"#Gg7]tl'  
2.4.2计算机模拟 5>"$95D  
2.5子孔径拼接优化算法 +l2{EiQw  
2.5.1调整误差分量及其波像差 cW26TtU(  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 Cz Jze  
2.5.3仿真研究 {Aj}s3v  
2.6测量系统 5X nA.?F^  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 tH2y:o72  
2.6.2实验研究 6N:fq  
2.7超大口径拼接检测 -JaC~v(0  
2.7.1方案设计 m/JpYv~  
2.7.2拼接算法 3uz@JY"mK  
2.8小结 zm9>"(H  
参考文献 eL#pS=  
第3章接触式轮廓测量 Obrv5%'  
3.1概述 9Rzu0:r.,  
3.2测量理论基础 (m\PcF  
3.2.1测量原理 7z)Hq./3@  
3.2.2坐标系和坐标变换 gE0k|Z(RF  
3.2.3检测路径 d11~mU\  
3.2.4二次曲面系数研究 =\ iV=1iB  
3.2.5离轴镜测量模型 !GURn1vcAe  
3.3测量系统 vR3'B3y  
3.3.1测头系统 !TVlsm  
3.3.2系统设计 +S5"4<  
3.4误差分析 V"#ie Yn  
3.4.1误差源分类 a"0Xam  
3.4.2固有误差 9h<];  
3.4.3随机调整误差 #
Fl"#g$  
3.4.4接触力诱导误差 vp1IYW  
3.4.5高阶像差误差分析 `!kOyh:X  
3.5小结 w [D9Q=  
参考文献 fDNiU"  
第4章结构光轮廓测量 kTT!gZP$  
4.1概述 i!LEA/"V  
4.2基于结构光原理的测量方法 MVs@~=  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 ZC@ 33Q(  
4.2.2相位测量轮廓术 ?gY^,C
kj  
4.2.3莫尔测量轮廓术 'mXf8   
4.2.4卷积解调法 SHOg,#
mV  
4.2.5调制度测量轮廓术 0+}42g|_Z  
4.3测量系统及其标定 b<P9@h~:  
4.3.1结构光三维测量系统 U ]`SM6  
4.3.2系统参数标定 BRPvBs?Q,{  
4.3.3快速标定方法 75u/'0~5  
4.4位相展开算法 4`yCvPu  
4.4.1位相展开的基本原理 ) kfA5xi[  
4.4.2空间位相展开方法 U}~SY  
4.4.3时间位相展开方法 L%}k.)yev  
4.4.4光栅图像采集与预处理 lRF04  
4.5测量误差分析 k(pI5N}pJZ  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 J70#pF  
4.5.2非线性误差矫正方法 O; 7`*}m  
4.6小结 >k"Z'9l  
参考文献 7IB<0  
第5章亚表面损伤检测 (/Lo44wT  
5.1概述 OS;qb:;  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 vxhs1vh  
5.2.1产生机理  s!X@ l  
5.2.2表征方法 T!
0o(Pp<  
5.3亚表面损伤检测技术 }><VcouJ[  
5.3.1破坏性检测 :hr% 6K7  
5.3.2非破坏性检测 `w` f[dU-  
5.4工艺试验 u9ObFm$7  
5.4.1亚表面损伤的测量 2a|9D\  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 thy)J.<J  
5.4.3损伤抑制策略 tgSl(.  
5.5小结 Q1yMI8  
参考文献 {+%|nOWV  
第6章其他测量技术 Yj3j?.JJk  
6.1移相干涉测量技术 
XP'<\  
6.2动态干涉测量技术 D!Pv`wm  
6.3剪切干涉 C62:G+W&o  
6.4点衍射干涉 .<%2ON_  
6.5白光干涉测量技术 n}/?nP\%  
6.6外差干涉测量技术 M3P
\1  
6.7补偿法检测非球面 r6S-G{o  
6.8计算全息法检测非球面 }K':tX?  
参考文献 ]CHO5'%,$  
文摘 ySAkj-< /P  
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