精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

发布:cyqdesign 2014-11-27 17:42 阅读:3462
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 Vt:~q{9*k  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 JfLqtXF[&"  
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目录 tE<H|_{L  
前言 f e\$@-  
第1章绪论 g+vva"  
1.1概述 lb4Pcd j  
1.2光学元件质量评价 {Aw#?#GPW  
1.2.1表面质量评价 v_+{'F  
1.2.2亚表面质量评价 }YGV\Nu  
1.3干涉测量基础知识 1"MhGNynB>  
1.3.1干涉原理 [1g8*j~L  
1.3.2典型干涉测量结构 `u3EU*~W  
第2章子子L径拼接轮廓测量 #rMlI3;  
2.1概述 ;=)k<6  
2.2圆形子孔径拼接 Gp?a(-K5  
2.2.1拼接原理 mqD}BOif  
2.2.2拼接算法 Lb:g4A"  
2.3环形子孔径拼接 V_ :1EBzz  
2.3.1孔径划分 z+0I#kM"1  
2.3.2拼接原理 Y,<{vLEC  
2.3.3拼接算法 ey7 f9  
2.4广义子孔径拼接 N7b8m?!  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法  VA6}  
2.4.2计算机模拟 P+@/O  
2.5子孔径拼接优化算法 5sj4;w[  
2.5.1调整误差分量及其波像差 S 6@u@C  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 o4G?nvK-  
2.5.3仿真研究 Yb|c\[ %  
2.6测量系统 ]sf7{lVT  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 ~7*.6YnI  
2.6.2实验研究 q/4J.j L  
2.7超大口径拼接检测 \ub7`01  
2.7.1方案设计 Y2N>HK0  
2.7.2拼接算法 u^@f&BIG]:  
2.8小结 vYwYQG  
参考文献 :C(=&g<]D  
第3章接触式轮廓测量 "jeb%k  
3.1概述 :3v}kLO7|  
3.2测量理论基础 EizKoHI-z  
3.2.1测量原理 tU}h~&M  
3.2.2坐标系和坐标变换 w1Nm&}V  
3.2.3检测路径 jFQQ`O V  
3.2.4二次曲面系数研究 >c1qpk/  
3.2.5离轴镜测量模型 =)0,#9k U]  
3.3测量系统 %<\vGqsM  
3.3.1测头系统 T,,WoPU8t  
3.3.2系统设计 cvn@/qBq*t  
3.4误差分析 bn|I> e  
3.4.1误差源分类 ]R+mKUZ9  
3.4.2固有误差 N]>=p.#j  
3.4.3随机调整误差 Ci@o|Y }tP  
3.4.4接触力诱导误差  U f:`  
3.4.5高阶像差误差分析 dN$0OS`s[  
3.5小结 C)um9}  
参考文献 epA:v|S  
第4章结构光轮廓测量 so,t   
4.1概述 F&!6jv  
4.2基于结构光原理的测量方法 ~8q)^vm>f?  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 %0S3V[4I  
4.2.2相位测量轮廓术 &jS>UsGh  
4.2.3莫尔测量轮廓术 tqz3zIQ  
4.2.4卷积解调法 ]J1dtN=  
4.2.5调制度测量轮廓术 LA!?H]  
4.3测量系统及其标定 [g7L&`f9  
4.3.1结构光三维测量系统 ]~Rho_mq#  
4.3.2系统参数标定 pR*VdC _mY  
4.3.3快速标定方法 Km qMFB62  
4.4位相展开算法 S] }nm  
4.4.1位相展开的基本原理 qmkAg }2  
4.4.2空间位相展开方法 [`ebM,W  
4.4.3时间位相展开方法 Z+*9#!?J  
4.4.4光栅图像采集与预处理 !EvAB+`jLI  
4.5测量误差分析 u0JB\)(-/h  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 QmQ=q7  
4.5.2非线性误差矫正方法 0z`a1 %U  
4.6小结 \{Y 7FC~  
参考文献 &W| [r(  
第5章亚表面损伤检测 +^` I?1\UF  
5.1概述 *D'22TO[[!  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 D>`xzt'.6  
5.2.1产生机理 y*4=c _Z  
5.2.2表征方法 0eT(J7[ <  
5.3亚表面损伤检测技术 d6Ht2  
5.3.1破坏性检测 xsIY7Ss U  
5.3.2非破坏性检测 bg!/%[ {M  
5.4工艺试验 ahJ`T*)HY  
5.4.1亚表面损伤的测量 u }#(.)a:  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 R|6Cv3:  
5.4.3损伤抑制策略 K?6jXJseb  
5.5小结 GoJ.&aH $  
参考文献 W\>fh&!)  
第6章其他测量技术 Q)~aiI0  
6.1移相干涉测量技术 qLO4#CKCL6  
6.2动态干涉测量技术 ]3D0R;  
6.3剪切干涉 BGvre'67  
6.4点衍射干涉 S(k3 `;K  
6.5白光干涉测量技术 =rMUov h  
6.6外差干涉测量技术 pd:WEI ,  
6.7补偿法检测非球面 piJu+tUy  
6.8计算全息法检测非球面 `{f}3bO7C  
参考文献 >"??!|XG^  
文摘 ^ sOQi6pL  
*l"T$H   
关键词: 光学元件
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最新评论

蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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