精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 =D/zC'l  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 Eu?z!  
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目录 r9@=d  
前言 W*
C~Xba<  
第1章绪论 gN=.}$Kfu  
1.1概述 Ym6d'd<9(  
1.2光学元件质量评价 {zFME41>g  
1.2.1表面质量评价 SB\%"nnV  
1.2.2亚表面质量评价 3%Y:+%VE  
1.3干涉测量基础知识 8?+|4:#=*J  
1.3.1干涉原理 eQbHf  
1.3.2典型干涉测量结构 A8J
u+  
第2章子子L径拼接轮廓测量 ]b4IO4T  
2.1概述 6z9 '|;,4  
2.2圆形子孔径拼接 _>- D*l  
2.2.1拼接原理 ;/K2h_=3z  
2.2.2拼接算法 cszvt2BIg  
2.3环形子孔径拼接 I/dy^5@F  
2.3.1孔径划分 H-kX-7C  
2.3.2拼接原理 CZ5\Et6r  
2.3.3拼接算法 9"P|Csj  
2.4广义子孔径拼接 /5ZX6YkeH  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 n"(!v7YNp  
2.4.2计算机模拟 [*',pG  
2.5子孔径拼接优化算法 Wgwd?@uK  
2.5.1调整误差分量及其波像差 Cu[-<>my  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型
kU<t~+  
2.5.3仿真研究 iEvQ4S6tD  
2.6测量系统 1-_r\sb  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 eM5?fE&!&  
2.6.2实验研究 +<7Oj s>o  
2.7超大口径拼接检测 V%s g+D2  
2.7.1方案设计 L)sgW(@2  
2.7.2拼接算法  THYw_]K  
2.8小结 R?xb1yc7_  
参考文献 "D(Lp*3hj&  
第3章接触式轮廓测量 {a7~P0$  
3.1概述 x;/LOa{LR  
3.2测量理论基础 Z3`E
Xs  
3.2.1测量原理 @Wu-&Lb  
3.2.2坐标系和坐标变换 A lU^,X  
3.2.3检测路径 A]z*#+Sl  
3.2.4二次曲面系数研究 9njl,Q:  
3.2.5离轴镜测量模型 cr1x CPJj  
3.3测量系统 !/zRw-q3B  
3.3.1测头系统 v4ot08 C  
3.3.2系统设计 $]2)r[eA)  
3.4误差分析 f`9Mcli!  
3.4.1误差源分类 wcGK*sWG-  
3.4.2固有误差 m#7(<#  
3.4.3随机调整误差 /)P}[Q4  
3.4.4接触力诱导误差 y~SVD@  
3.4.5高阶像差误差分析 COrk (V  
3.5小结 ~3&{`9Y  
参考文献 :KLXrr  
第4章结构光轮廓测量 }#XFa#  
4.1概述 .w2ID  
4.2基于结构光原理的测量方法 8Lo#{`  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 {0zn~+  
4.2.2相位测量轮廓术 4.RQ3SoDa  
4.2.3莫尔测量轮廓术 BrV{X&>[i  
4.2.4卷积解调法 >[}oH2oi  
4.2.5调制度测量轮廓术 rd%%NnT"  
4.3测量系统及其标定 gAqK)@8-  
4.3.1结构光三维测量系统 0I&k_7_  
4.3.2系统参数标定 {MUB4-@?F$  
4.3.3快速标定方法 %oZ:Awx  
4.4位相展开算法 0'QWa{dS\  
4.4.1位相展开的基本原理 wVf~FssN  
4.4.2空间位相展开方法 UtZ,q!sg  
4.4.3时间位相展开方法 zZ5:)YiW-  
4.4.4光栅图像采集与预处理 ZO0 Ee1/  
4.5测量误差分析 zG!nqSDG  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 }U_ '7_JT  
4.5.2非线性误差矫正方法 "t@p9>  
4.6小结 c'2d+*[  
参考文献 K2   
第5章亚表面损伤检测 i|YS>Pw~j  
5.1概述 v9*m0|T0M  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 x(_[D08/TT  
5.2.1产生机理 jlEz]@ i  
5.2.2表征方法 }f}.>B0#  
5.3亚表面损伤检测技术 xmW~R*^  
5.3.1破坏性检测 $pGT1oF
[E  
5.3.2非破坏性检测 ]Bw0Qq F#  
5.4工艺试验 1>!L
K_  
5.4.1亚表面损伤的测量 G0cG%sIl  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 J=4>zQ
LW  
5.4.3损伤抑制策略 EY}:aur  
5.5小结 y8Va>ul"U  
参考文献 {Kz
,_bo  
第6章其他测量技术 M`xiC  
6.1移相干涉测量技术 eL!41_QI  
6.2动态干涉测量技术 !40>LpL[  
6.3剪切干涉 6*OL.~WE  
6.4点衍射干涉 LF<&gC  
6.5白光干涉测量技术 L*nK> +  
6.6外差干涉测量技术 0D X_*f  
6.7补偿法检测非球面 1J@Iekat  
6.8计算全息法检测非球面 2z.ot'  
参考文献 2
Xb, i  
文摘 ]S|FK>U[  
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