精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 PU.j(0  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 N7"cMAs\G  
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目录 `$1A;wg<  
前言 G2wSd'n*y  
第1章绪论 C<a&]dN/  
1.1概述 (G+)v[f  
1.2光学元件质量评价 RjUrpS[I  
1.2.1表面质量评价 B]yO  
1.2.2亚表面质量评价 $> QJ%v9+  
1.3干涉测量基础知识 ,|$1(z*a{c  
1.3.1干涉原理 V_$<^z|  
1.3.2典型干涉测量结构 j07A>G-=  
第2章子子L径拼接轮廓测量 <Ffru?o4
j  
2.1概述 >?JUGXAi'{  
2.2圆形子孔径拼接 <bW~!lv  
2.2.1拼接原理 aj1g9y  
2.2.2拼接算法 X=?9-z] QO  
2.3环形子孔径拼接 uYlyU~M:D  
2.3.1孔径划分 <^> nR3E  
2.3.2拼接原理 s7}-j2riq  
2.3.3拼接算法 (bI/s'?K  
2.4广义子孔径拼接 )Az0.}  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 <nk/w5nKL  
2.4.2计算机模拟 A?n5;mvq#  
2.5子孔径拼接优化算法 oc-&}R4=  
2.5.1调整误差分量及其波像差 EVqqOp1$v4  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 DQu)?Rsk  
2.5.3仿真研究 X*7VDt=  
2.6测量系统 7fWZ/;p  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 R!"`Po  
2.6.2实验研究 "+O/OKfR0  
2.7超大口径拼接检测 'e<8j  
2.7.1方案设计 mDA+ .l&)b  
2.7.2拼接算法 @||nd,i`n~  
2.8小结 be-HF;lZe'  
参考文献 "usPzp5  
第3章接触式轮廓测量 ib> ~3s;  
3.1概述 dlZ2iDQ%  
3.2测量理论基础 Zr6.
Nw  
3.2.1测量原理 PL31(!`@d  
3.2.2坐标系和坐标变换 s4f{ziLp  
3.2.3检测路径 y~OP9T
g  
3.2.4二次曲面系数研究 Y>c+j  
3.2.5离轴镜测量模型 +:aNgO#e8  
3.3测量系统 mc
Q A'  
3.3.1测头系统 iSOyp\E|  
3.3.2系统设计
\TzBu?,v8  
3.4误差分析 Vy/G-IASb  
3.4.1误差源分类 b O}&i3.L;  
3.4.2固有误差 hD
g"?{  
3.4.3随机调整误差 'bH~KK5  
3.4.4接触力诱导误差 Y0Tw:1a  
3.4.5高阶像差误差分析 _ A{F2M  
3.5小结 z&#^9rM"  
参考文献 #Ddo` >`&  
第4章结构光轮廓测量
M'X,7hZ  
4.1概述 4%<wxrod  
4.2基于结构光原理的测量方法 'Zex/:QS  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 /`#JM  
4.2.2相位测量轮廓术 q
TWQ!  
4.2.3莫尔测量轮廓术 H;AMRL o4z  
4.2.4卷积解调法 mss.\  
4.2.5调制度测量轮廓术 ON>l%Ae4G  
4.3测量系统及其标定 p74Nd4U$s  
4.3.1结构光三维测量系统 XCyb[(4  
4.3.2系统参数标定 k MV1$  
4.3.3快速标定方法  (t@!0_5  
4.4位相展开算法 vaVV1  
4.4.1位相展开的基本原理 L|b[6[XTHL  
4.4.2空间位相展开方法 hhU\$'0B-  
4.4.3时间位相展开方法 !"hzGgOOX  
4.4.4光栅图像采集与预处理 yP` K [/  
4.5测量误差分析 f4 +P2j  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 qJtLJ<=1  
4.5.2非线性误差矫正方法 bQN3\mvY  
4.6小结 X4'!:&  
参考文献 F]N?_ bo  
第5章亚表面损伤检测 fX\y/C  
5.1概述 Dequ'  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 ?djH!  
5.2.1产生机理 f}.t  
5.2.2表征方法 heWQPM|s  
5.3亚表面损伤检测技术 &VCg`r-{~  
5.3.1破坏性检测 +l]>(k.2  
5.3.2非破坏性检测 @a=jSB#B  
5.4工艺试验 V`c,U7[/  
5.4.1亚表面损伤的测量 f"AT@Ga]  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 1@TL>jq  
5.4.3损伤抑制策略 bl10kI:F  
5.5小结 r/)ZKO,  
参考文献 NCo!n$O1~  
第6章其他测量技术 sC2
NFb-+&  
6.1移相干涉测量技术 N<Ym&
$xR  
6.2动态干涉测量技术 W|sU[dxZ  
6.3剪切干涉 4Xwb`?}-  
6.4点衍射干涉 /Q89y[  
6.5白光干涉测量技术 7dE.\#6r  
6.6外差干涉测量技术 ?h|DeD!s  
6.7补偿法检测非球面 m9DTz$S.  
6.8计算全息法检测非球面 ]vV)$xMX  
参考文献 x",ktE>9  
文摘 +`$$^x  
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