精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 *3!(*F@M,  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 KuIkul9^%  
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 "&@gX_%  
前言 xT:qe  
第1章绪论 4tbw*H5!5  
1.1概述 C(f$!~M4b  
1.2光学元件质量评价 ]U_5\$  
1.2.1表面质量评价 T:be 9 5!,  
1.2.2亚表面质量评价 3Wjq>\  
1.3干涉测量基础知识 TViBCed40  
1.3.1干涉原理 v hRu`Yb  
1.3.2典型干涉测量结构 ,m2A p\l  
第2章子子L径拼接轮廓测量 f#*h^91x  
2.1概述 Tnf&pu#5  
2.2圆形子孔径拼接 , - QR  
2.2.1拼接原理 u9esdOv  
2.2.2拼接算法 $Vo/CZW7  
2.3环形子孔径拼接 #E*@/ p/  
2.3.1孔径划分 i:C.8hmAE  
2.3.2拼接原理  -PcS(  
2.3.3拼接算法 >Kz_My9  
2.4广义子孔径拼接 
d,zp`S  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 .UNF~}^H  
2.4.2计算机模拟 _2NN1/F5  
2.5子孔径拼接优化算法 AEB/8%l};v  
2.5.1调整误差分量及其波像差 -kWO2  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 uCY(:;[<  
2.5.3仿真研究 ~C%2t{"  
2.6测量系统 PthIdaN@  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台
R1II k  
2.6.2实验研究 U* -% M  
2.7超大口径拼接检测 Tm(Q@  
2.7.1方案设计 ,h3269
$J  
2.7.2拼接算法 OG0r4^6Ly  
2.8小结 co \[{}}  
参考文献 |E46vup  
第3章接触式轮廓测量
elN{7:  
3.1概述 8dV.nO  
3.2测量理论基础 JQ~y- lt  
3.2.1测量原理 Ll0
08.#  
3.2.2坐标系和坐标变换 5oVLv4Z9u  
3.2.3检测路径 RpBiE8F4  
3.2.4二次曲面系数研究 $KoPGgC[  
3.2.5离轴镜测量模型 x, G6\QmA  
3.3测量系统 szf"|k!  
3.3.1测头系统 .}IK}A/-  
3.3.2系统设计 G> f^2  
3.4误差分析 'CP/ymf/a  
3.4.1误差源分类 r^?)F?n!  
3.4.2固有误差 !F=|*j  
3.4.3随机调整误差 N BV}4  
3.4.4接触力诱导误差 !7ei1  
3.4.5高阶像差误差分析 M'pb8jf  
3.5小结 Gg 7WmL  
参考文献 UN cYu9[  
第4章结构光轮廓测量 \[Sm2/9v  
4.1概述 FQ;4'B^k]  
4.2基于结构光原理的测量方法 ZA*b9W  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 9oZ} h&  
4.2.2相位测量轮廓术 8QkWgd7y  
4.2.3莫尔测量轮廓术 )e4WAlg8c  
4.2.4卷积解调法 J!21`M-Ue  
4.2.5调制度测量轮廓术 N&6_8=3z  
4.3测量系统及其标定 qZT 4+&y  
4.3.1结构光三维测量系统 `_
NnQ%  
4.3.2系统参数标定 jF%)Bhn(  
4.3.3快速标定方法 ,Y+r<;  
4.4位相展开算法 \_m\U.*  
4.4.1位相展开的基本原理 Z!C`f/h9  
4.4.2空间位相展开方法 :zizca4  
4.4.3时间位相展开方法 ,!o\),N  
4.4.4光栅图像采集与预处理 Cm,*bgX  
4.5测量误差分析 *r)zBr  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 g@S@d&
9  
4.5.2非线性误差矫正方法 (SgEt  
4.6小结 &+)+5z_d  
参考文献 dWzDSlP&  
第5章亚表面损伤检测 4kW30Ma  
5.1概述 %v?jG(o  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 'Z*\1Ci  
5.2.1产生机理 nU
I63?  
5.2.2表征方法 Uv @!i0W  
5.3亚表面损伤检测技术 e.)yV'%L  
5.3.1破坏性检测 `^XRrVX<  
5.3.2非破坏性检测 ]Ks]B2Osz  
5.4工艺试验 lKh2LY=j  
5.4.1亚表面损伤的测量 `l[6rf_.  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 kcq9p2zKv  
5.4.3损伤抑制策略 F]K$u<U  
5.5小结 htUy2v#V  
参考文献 {#dp-5V  
第6章其他测量技术 Mr5('9%  
6.1移相干涉测量技术 _Ewy^;S%L  
6.2动态干涉测量技术 !#,-  
6.3剪切干涉 B|]t\(~$[  
6.4点衍射干涉 7AGZu?1]M  
6.5白光干涉测量技术 38x[Ad4%  
6.6外差干涉测量技术 JEK%yMj  
6.7补偿法检测非球面 )V[w:=*  
6.8计算全息法检测非球面 U<ku_(2"#  
参考文献 j:rs+1bc  
文摘 xWenKY,  
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