精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

发布:cyqdesign 2014-11-27 17:42 阅读:3650
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 M  f}~{+  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 FVMD>=k  
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目录 @T@< _ ?)  
前言 *zaQx+L  
第1章绪论 jqz ux[6{  
1.1概述 ^NLmgw Q  
1.2光学元件质量评价 ! :Y:pu0  
1.2.1表面质量评价 gl~ecc  
1.2.2亚表面质量评价 t DO=P c  
1.3干涉测量基础知识 >d(~# Z`  
1.3.1干涉原理 2pZXZ  
1.3.2典型干涉测量结构 D+#E -8  
第2章子子L径拼接轮廓测量 \/93Dz  
2.1概述 ):P?  
2.2圆形子孔径拼接 , xw#NG6  
2.2.1拼接原理 b\ X@gq  
2.2.2拼接算法 1]d!~  
2.3环形子孔径拼接 3(``#7  
2.3.1孔径划分 8mCxn@yV  
2.3.2拼接原理 vXev$x=w-  
2.3.3拼接算法 jxP;>K7O  
2.4广义子孔径拼接 Qu"8(Jk/  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 ~Q*%DRd&Z-  
2.4.2计算机模拟 i9rN9Mq?O  
2.5子孔径拼接优化算法 o m!!Sl3  
2.5.1调整误差分量及其波像差 CYt?,qk-r  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 >R|/M`<ph  
2.5.3仿真研究 J; S (>c  
2.6测量系统 Z3%}ajPu[  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 l(yZO$  
2.6.2实验研究 J.3u^~zy  
2.7超大口径拼接检测 _PPy44r2  
2.7.1方案设计 [RS|gem`  
2.7.2拼接算法 B[qzUD*P_n  
2.8小结 Lk|hQ  
参考文献 )"qa kT  
第3章接触式轮廓测量 n#mA/H;wV  
3.1概述 X enE^e+9  
3.2测量理论基础 8aZ=?_gvT  
3.2.1测量原理 nz%DM<0$  
3.2.2坐标系和坐标变换 k3~}7]O)  
3.2.3检测路径 @<,X0S  
3.2.4二次曲面系数研究 '-wj9OU  
3.2.5离轴镜测量模型 FOb0uj=(v  
3.3测量系统 %]\kgRr  
3.3.1测头系统 __uA}f Zp  
3.3.2系统设计 9q)Kfz  
3.4误差分析 SQ@y;|(  
3.4.1误差源分类 Cwr~HY  
3.4.2固有误差 "<6G6?sz  
3.4.3随机调整误差 bT</3>+C  
3.4.4接触力诱导误差 >d@&2FTO  
3.4.5高阶像差误差分析 |U~<3.:m:  
3.5小结 U1Q:= yD  
参考文献 W=lyIb{?^0  
第4章结构光轮廓测量 '-QwssE  
4.1概述 :X"?kK0V  
4.2基于结构光原理的测量方法 \Bz_p'[G  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 q$p%ZefZ  
4.2.2相位测量轮廓术 Qd)q([  
4.2.3莫尔测量轮廓术 oVnvO iAc  
4.2.4卷积解调法 3s5z UT;  
4.2.5调制度测量轮廓术 "Hya6k>j  
4.3测量系统及其标定 K'55O&2  
4.3.1结构光三维测量系统 t9nqu!);  
4.3.2系统参数标定 7Sf bx~48  
4.3.3快速标定方法 !1rlN8w(qr  
4.4位相展开算法 {SOr#{1z*  
4.4.1位相展开的基本原理 +ndaLhj'  
4.4.2空间位相展开方法 ksc;X$f&4  
4.4.3时间位相展开方法 svsqg{9z  
4.4.4光栅图像采集与预处理 LU \i0|i|  
4.5测量误差分析 j >Ht@Wi  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 D!@Ciw  
4.5.2非线性误差矫正方法 -] LY,M  
4.6小结 B#exHf8  
参考文献 :D euX  
第5章亚表面损伤检测 e%@'5k\SK  
5.1概述 9"NF/)_  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 EH$1fvE  
5.2.1产生机理 Ut*`:]la  
5.2.2表征方法 ICpAt~3[M  
5.3亚表面损伤检测技术 S3F;(PDzy  
5.3.1破坏性检测 8k2?}/+  
5.3.2非破坏性检测 t\?ik6  
5.4工艺试验 >c1!p]&V  
5.4.1亚表面损伤的测量 >l]Xz*HE  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 Sw:7pByjI  
5.4.3损伤抑制策略 R}'bP  
5.5小结 v;BV@E0}x  
参考文献 nR7d4)  
第6章其他测量技术 ;i8g41qjF  
6.1移相干涉测量技术 yu;+o3WlK  
6.2动态干涉测量技术 b v G/|U  
6.3剪切干涉 bhID#&  
6.4点衍射干涉 +:8fC$vVfC  
6.5白光干涉测量技术 *e<[SZzYZ  
6.6外差干涉测量技术 NYyh|X:m  
6.7补偿法检测非球面 wZG\>9~  
6.8计算全息法检测非球面 nv GF2(;l  
参考文献 6TYY UM"&  
文摘 *,3SGcYdJj  
-1 FPkp  
关键词: 光学元件
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最新评论

蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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