精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 ?' .AeoE-  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 1'\QD`M9^  
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目录 lP3|h*  
前言 ~_vSMX
 
第1章绪论 U_(>eVi7F  
1.1概述 A,9JbX  
1.2光学元件质量评价 x{SlJ%V  
1.2.1表面质量评价 -3R:~z^L  
1.2.2亚表面质量评价 dHUbaf:e)T  
1.3干涉测量基础知识 \4q|Qno8  
1.3.1干涉原理 IibrZ/n6  
1.3.2典型干涉测量结构 Q+=pP'cV  
第2章子子L径拼接轮廓测量 P[WkW#  
2.1概述 Dz: +. @k  
2.2圆形子孔径拼接 ^obuMQ;  
2.2.1拼接原理 (c(F1=K  
2.2.2拼接算法 p0bWzIH  
2.3环形子孔径拼接 Bzrnmz5S  
2.3.1孔径划分 0cq@lT6  
2.3.2拼接原理 H\Ra*EO~j  
2.3.3拼接算法 RJ{$`d  
2.4广义子孔径拼接 +gX
,r$bX  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 Nnl3r@  
2.4.2计算机模拟 yov~'S9  
2.5子孔径拼接优化算法 }_]AQN$'G  
2.5.1调整误差分量及其波像差 TC?B_;a  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 . ,^WCyvq  
2.5.3仿真研究 jr4xh{Z`  
2.6测量系统 ^m w]u"5\  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 dT|f<E/P  
2.6.2实验研究 /h0
bBP  
2.7超大口径拼接检测 TlS? S+  
2.7.1方案设计 tk%f_"}  
2.7.2拼接算法 PC_!  
2.8小结 WR)=VE   
参考文献 '`P%;/z  
第3章接触式轮廓测量 %+(AKZu:  
3.1概述 }`B .(3n  
3.2测量理论基础 ('5?-  
3.2.1测量原理 il5C9ql$  
3.2.2坐标系和坐标变换 .>B'oD  
3.2.3检测路径 h=7q;-@7  
3.2.4二次曲面系数研究 'Rn-SD~gIr  
3.2.5离轴镜测量模型 ?bB>}:~j)  
3.3测量系统 VI2lwE3  
3.3.1测头系统 /I`TN5~  
3.3.2系统设计 qH}8TC  
3.4误差分析 <kK>C8+  
3.4.1误差源分类 5?k5J\+  
3.4.2固有误差 JN0h3nZ_  
3.4.3随机调整误差 Y@+Rb  
3.4.4接触力诱导误差 xnY?<?J"!  
3.4.5高阶像差误差分析 ?G,4N<]Nu  
3.5小结 UCLM*`M  
参考文献 i.Rl
&t  
第4章结构光轮廓测量 >|QH I d8  
4.1概述 Ay16/7h@hi  
4.2基于结构光原理的测量方法 kv:9Fm\$  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 N(&{~*YE  
4.2.2相位测量轮廓术 4X
N \p  
4.2.3莫尔测量轮廓术 )d2Z g  
4.2.4卷积解调法 $o[-xNn1  
4.2.5调制度测量轮廓术 m-AF&( ;K  
4.3测量系统及其标定 FU3K?A B  
4.3.1结构光三维测量系统 r
Vz.Ws#  
4.3.2系统参数标定 cE]z Tu?!  
4.3.3快速标定方法 d&#_t@%  
4.4位相展开算法 UBaXS_c\  
4.4.1位相展开的基本原理 2Vx4"fHP#N  
4.4.2空间位相展开方法 *G58t`]r  
4.4.3时间位相展开方法 .@V
Z3"  
4.4.4光栅图像采集与预处理 {[H_Vl@  
4.5测量误差分析 *)RmX$v3  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 0'Pjnk-i  
4.5.2非线性误差矫正方法 0JlNUO5Nt  
4.6小结 54_}9_g  
参考文献 *7!MG  
第5章亚表面损伤检测 '}Fe&%  
5.1概述 NHd@s#@  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 -zg*p&F  
5.2.1产生机理 ppAbG,7  
5.2.2表征方法 B.8B1MFm  
5.3亚表面损伤检测技术 b 
RR N  
5.3.1破坏性检测 is<:}z  
5.3.2非破坏性检测 Q0xO;20  
5.4工艺试验 7V"?o  
5.4.1亚表面损伤的测量 b"I#\;Ym  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 fs!dI  
5.4.3损伤抑制策略 Vebv!  
5.5小结 $BwWQ?lp  
参考文献 %N8I'*u  
第6章其他测量技术 P#O"{+`  
6.1移相干涉测量技术 <o(;~  
6.2动态干涉测量技术 6FB0g8  
6.3剪切干涉 FZ-Wgh 0z  
6.4点衍射干涉 qez
WfR`  
6.5白光干涉测量技术 a~_9BM41T  
6.6外差干涉测量技术 7'\.QJ!<  
6.7补偿法检测非球面 =3bk=vy  
6.8计算全息法检测非球面 kF|$oBQ  
参考文献 Px_8lB/;  
文摘 n`5Nf  

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