精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 pIiED9  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 K-C
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目录 Mk/!,N<h#  
前言 3,I >.3  
第1章绪论 a9zph2o-  
1.1概述 e uHu}  
1.2光学元件质量评价 '. Hp*9R  
1.2.1表面质量评价 iCRw}[[  
1.2.2亚表面质量评价 u%T$X
G  
1.3干涉测量基础知识 wn|@D<  
1.3.1干涉原理 #aY<J:Nx  
1.3.2典型干涉测量结构 Ja=70ZI^6  
第2章子子L径拼接轮廓测量 p]z54 ~  
2.1概述 %%cSvPcz  
2.2圆形子孔径拼接 Ty0T7D  
2.2.1拼接原理 m_02"'  
2.2.2拼接算法 Dh(T)yc  
2.3环形子孔径拼接 k5QD5/Ej  
2.3.1孔径划分 0gD59N'C  
2.3.2拼接原理 ak8^/1*@  
2.3.3拼接算法 {-N9
0Oe  
2.4广义子孔径拼接 G4%M$LJh  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 |z.GSI_!)  
2.4.2计算机模拟 G
L =XiBt  
2.5子孔径拼接优化算法 9'#.>Q>0=j  
2.5.1调整误差分量及其波像差 o/ g+Z  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 %_R|@cyD  
2.5.3仿真研究 dN\P&"`  
2.6测量系统 \.;ct  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 Q=L$7   
2.6.2实验研究 dF11Rj,~ 8  
2.7超大口径拼接检测 k-cIb@+"  
2.7.1方案设计 4Re@QOZ  
2.7.2拼接算法 pebx#}]p-  
2.8小结 *tfDXQ^mN  
参考文献 hf+/kc!>i  
第3章接触式轮廓测量 l&??2VO/t  
3.1概述 nR@,ouB-$  
3.2测量理论基础 u~- fK'/!|  
3.2.1测量原理 ^Ii \vk  
3.2.2坐标系和坐标变换 h3]@M$Y[  
3.2.3检测路径 'Rkvsch  
3.2.4二次曲面系数研究 oz0n$`O$/  
3.2.5离轴镜测量模型 RJ}yf|d-C  
3.3测量系统 :7Z\3_D/  
3.3.1测头系统 PMN2VzE4{  
3.3.2系统设计 SXo[[ao  
3.4误差分析 t>6x)2,TC  
3.4.1误差源分类 .W@4vrp
@  
3.4.2固有误差 F'>GN}n  
3.4.3随机调整误差 ZA_zKJ[[7  
3.4.4接触力诱导误差 AJ?}Hel[0  
3.4.5高阶像差误差分析 }y-;>i#m=g  
3.5小结 Z"n'/S:q  
参考文献 ]Z$TzT&@%  
第4章结构光轮廓测量 4&oXy,8LC  
4.1概述 j*H;a ?Y  
4.2基于结构光原理的测量方法 mzV"G>,o  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 *pb:9JKi  
4.2.2相位测量轮廓术 N[bR&#p  
4.2.3莫尔测量轮廓术 6a%:zgkOpu  
4.2.4卷积解调法 3$$5Mk(&  
4.2.5调制度测量轮廓术 3r-VxP 5n  
4.3测量系统及其标定 KI Plb3oh  
4.3.1结构光三维测量系统 :,%J6Zh?  
4.3.2系统参数标定 3KZ y H  
4.3.3快速标定方法 0/SC  
4.4位相展开算法 cbh#E)['  
4.4.1位相展开的基本原理 9QOr,~~s  
4.4.2空间位相展开方法 |z#m  
4.4.3时间位相展开方法 GcZM+c  
4.4.4光栅图像采集与预处理 :,S8T%d  
4.5测量误差分析 QxL@'n#5   
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 z{`6#  
4.5.2非线性误差矫正方法 A{4G@k+#d  
4.6小结 j(Fa=pi  
参考文献 (zS2Ndp  
第5章亚表面损伤检测 49xp2{  
5.1概述 rb *C-NutE  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 CQBT::  
5.2.1产生机理 ![a/kj  
5.2.2表征方法 -- i&"  
5.3亚表面损伤检测技术 5?3Isw`v2  
5.3.1破坏性检测 7wiK.99  
5.3.2非破坏性检测 )BF \!sTn  
5.4工艺试验 JNxW6 cK  
5.4.1亚表面损伤的测量 .K
|P&  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 <ELziE~>V  
5.4.3损伤抑制策略 H5AK n*'7  
5.5小结 a9D gy_!Y  
参考文献 Y)Znb;`?a  
第6章其他测量技术 v:veV.y  
6.1移相干涉测量技术 u}-d7-=  
6.2动态干涉测量技术 Jw:Fj{D  
6.3剪切干涉 pAJ=f}",]E  
6.4点衍射干涉 M
>?aa6@0  
6.5白光干涉测量技术 k_*XJ<S!Y  
6.6外差干涉测量技术 B^
imG  
6.7补偿法检测非球面 j<l#qho{h  
6.8计算全息法检测非球面 0NL :z1N-h  
参考文献 hi;WFyJTu  
文摘 A$9q!Ui#d  
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