精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 0AK,&nbF  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 =(v^5
 
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目录 <%.5hCTp97  
前言 >Fio;cn?  
第1章绪论 $+JS&k/'m  
1.1概述 4y:]DC"  
1.2光学元件质量评价 ^I8Esl8  
1.2.1表面质量评价 fyTAou6hI  
1.2.2亚表面质量评价 {8$=[;  
1.3干涉测量基础知识 x8Loyt_C  
1.3.1干涉原理 M_v?9L  
1.3.2典型干涉测量结构 +gd4\ZG  
第2章子子L径拼接轮廓测量
sUZX }  
2.1概述 d)f@ 5/<  
2.2圆形子孔径拼接 T>TWU:  
2.2.1拼接原理 5=Xy,hmnC  
2.2.2拼接算法 7SDFz}  
2.3环形子孔径拼接 :y*NM,s
 
2.3.1孔径划分 K<?nq0-  
2.3.2拼接原理 [(Xy.L7x  
2.3.3拼接算法 &Z(K6U#.  
2.4广义子孔径拼接 qm/Q65>E  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 ZkL8
e  
2.4.2计算机模拟 :B3[:Mp
L}  
2.5子孔径拼接优化算法 )?+$x[f!*  
2.5.1调整误差分量及其波像差 3LDS Z1f  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 &'cL%.  
2.5.3仿真研究 X%z }VA  
2.6测量系统 V7#v6!7A@  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 Gjo
Im?  
2.6.2实验研究 !cKz7?w  
2.7超大口径拼接检测 Lg8nj< TF  
2.7.1方案设计 ^`un'5Vk  
2.7.2拼接算法 u\&b4=nL  
2.8小结 afjtn_IB  
参考文献 QXCH(5as  
第3章接触式轮廓测量 BA\/
YW @  
3.1概述 HhO".GA  
3.2测量理论基础 J>fQNW!{  
3.2.1测量原理 ?X@fKAj  
3.2.2坐标系和坐标变换 n>@oBG)!  
3.2.3检测路径 }Zl&]e
 
3.2.4二次曲面系数研究 dJ$"l|$$  
3.2.5离轴镜测量模型 )`^p%k  
3.3测量系统 [MuEoWrq(}  
3.3.1测头系统 OL4z%mDZi  
3.3.2系统设计 s4&^D<  
3.4误差分析 U qG .:@T  
3.4.1误差源分类 !9 fz(9  
3.4.2固有误差 z-M3  
3.4.3随机调整误差 +P.+_7+:  
3.4.4接触力诱导误差  hi
g2  
3.4.5高阶像差误差分析 xsWur(>]  
3.5小结 Y*mbjyt[?X  
参考文献 v<Bynd-  
第4章结构光轮廓测量 nUkaz*4qU  
4.1概述 j*~T1i
 
4.2基于结构光原理的测量方法 6e&>rq6C  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 eQQ>  
4.2.2相位测量轮廓术 cuOvN"nuNj  
4.2.3莫尔测量轮廓术 (O0Urm  
4.2.4卷积解调法 2^?:&1:  
4.2.5调制度测量轮廓术 >X*Mio8P#  
4.3测量系统及其标定 4CGPOc  
4.3.1结构光三维测量系统 NcY608C  
4.3.2系统参数标定 'X shmZ0&  
4.3.3快速标定方法 !^Q.VYY  
4.4位相展开算法 &89oO@5  
4.4.1位相展开的基本原理 1S@vGq}  
4.4.2空间位相展开方法 {Zp\^/  
4.4.3时间位相展开方法 )BRKZQN  
4.4.4光栅图像采集与预处理 1sYEZO;  
4.5测量误差分析 GF3/RT9  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 `^lYw:xA  
4.5.2非线性误差矫正方法
m&
|`x  
4.6小结 2t $j  
参考文献 Bn>8&w/P  
第5章亚表面损伤检测 &+G"k~%  
5.1概述 *Q1~S]g  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 aL\nT XakX  
5.2.1产生机理 0OGCilOb*  
5.2.2表征方法 HF3f)}l$  
5.3亚表面损伤检测技术 :O5og[;b  
5.3.1破坏性检测 {d?$m*YR3`  
5.3.2非破坏性检测 Qt|c1@J  
5.4工艺试验 A&>.74}p  
5.4.1亚表面损伤的测量 ^iQn'++
Q  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 4lZ$;:Jg  
5.4.3损伤抑制策略 Y#g4$"G9  
5.5小结 Q X%&~  
参考文献 *b];|n{  
第6章其他测量技术 m*mm\wN5  
6.1移相干涉测量技术 NV#FvM/#"  
6.2动态干涉测量技术 Y@ZaJ@%9@  
6.3剪切干涉 @)K%2Y`  
6.4点衍射干涉 L<fvKmo(fw  
6.5白光干涉测量技术 x\QY@9  
6.6外差干涉测量技术 SXt{k<|  
6.7补偿法检测非球面 Z{H5oUk  
6.8计算全息法检测非球面 A'nq}t 3  
参考文献 v!%5&: c3  
文摘 8Xs
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