精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 9\JQ7$B  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 Y?K{(szo ?  
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目录 p{D4"Qn+P9  
前言 !bnyJA  
第1章绪论 1}%B%*N  
1.1概述 aEt/NwgiQ  
1.2光学元件质量评价 aUU7{o_Z  
1.2.1表面质量评价 BlA[T%  
1.2.2亚表面质量评价 )e|=mtp  
1.3干涉测量基础知识 9X$ma/P[  
1.3.1干涉原理 YW/QC'_iC  
1.3.2典型干涉测量结构 yQNV@T<o  
第2章子子L径拼接轮廓测量 IZ/m4~  
2.1概述 nkf
Ziyx  
2.2圆形子孔径拼接 m908jI_So  
2.2.1拼接原理 )wvHGecp*  
2.2.2拼接算法 v\tEVhm  
2.3环形子孔径拼接 "A$!, PX6  
2.3.1孔径划分 LJ)5W  
2.3.2拼接原理 -G7TEq)  
2.3.3拼接算法 vw,rF`LjZ  
2.4广义子孔径拼接 |yEa5
rd?W  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 T~0k"uTE  
2.4.2计算机模拟 }7E^ZZ]f  
2.5子孔径拼接优化算法 gKYfQ+  
2.5.1调整误差分量及其波像差 %a+mk E  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 VHJM*&5  
2.5.3仿真研究 f y:,_#  
2.6测量系统 j)C,%Ol  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 l vMlL5t  
2.6.2实验研究 *!s;"U  
2.7超大口径拼接检测 y){ k3lm0  
2.7.1方案设计 scLn=  
2.7.2拼接算法 Qx;\USv  
2.8小结 E:9"cxx  
参考文献 #P l~R  
第3章接触式轮廓测量 [I!6PGx  
3.1概述 =U%Rvm  
3.2测量理论基础 bef_rH@`  
3.2.1测量原理 m< _S_c  
3.2.2坐标系和坐标变换 ojyIQk+  
3.2.3检测路径 {M-YHX>*;g  
3.2.4二次曲面系数研究 ?qCK7$j  
3.2.5离轴镜测量模型 [W%$qZlP  
3.3测量系统 P9g en6  
3.3.1测头系统 S4=~`$eP  
3.3.2系统设计 -gSUjP  
3.4误差分析 C{gyj}5  
3.4.1误差源分类 I!e})Y  
3.4.2固有误差 qlL`jWJ  
3.4.3随机调整误差 =|3fs7  
3.4.4接触力诱导误差 &l3iV88  
3.4.5高阶像差误差分析 T!Hb{Cg*  
3.5小结 uwz)($~bp  
参考文献 .pvi!NnL-  
第4章结构光轮廓测量
> ;/l)qk,  
4.1概述 _?OW0x4  
4.2基于结构光原理的测量方法 `c<;DhNO  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 ZI
=%JU(  
4.2.2相位测量轮廓术 4"gM<z  
4.2.3莫尔测量轮廓术 &
f^,la  
4.2.4卷积解调法 M$Zcn#A  
4.2.5调制度测量轮廓术 +L7n<U3  
4.3测量系统及其标定 s2Mb[#:a"  
4.3.1结构光三维测量系统 :<}=e@/~|  
4.3.2系统参数标定 *:Z
Dd  
4.3.3快速标定方法 I'V4D[H5  
4.4位相展开算法 N5a*7EJv+  
4.4.1位相展开的基本原理 bbrXgQ`s+w  
4.4.2空间位相展开方法 -$\+' \  
4.4.3时间位相展开方法 NR`C(^}  
4.4.4光栅图像采集与预处理 o4|M0  
4.5测量误差分析 R8ZK]5{o  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 ;kY(<{2  
4.5.2非线性误差矫正方法 Ney/[3 A  
4.6小结 :A/d to  
参考文献 Y;?{|  
第5章亚表面损伤检测
S:h{2{  
5.1概述 _f$^%?^  
5.2亚表面损伤产生机理与表征  Vh_P/C+  
5.2.1产生机理 <1uZa  
5.2.2表征方法 Zl^\Q=*s  
5.3亚表面损伤检测技术 7S}_F^  
5.3.1破坏性检测 3B84^>U<  
5.3.2非破坏性检测 ~_/(t'9  
5.4工艺试验 `{dm;j5/y  
5.4.1亚表面损伤的测量 03q5e  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 A"L&a l$i  
5.4.3损伤抑制策略 Xu%'Z".>:  
5.5小结 59h)-^!  
参考文献 ML|FQ  
第6章其他测量技术 %J+E/  
6.1移相干涉测量技术 .yz}ROmN^  
6.2动态干涉测量技术 Y$"O VC  
6.3剪切干涉 <J)]mh dm  
6.4点衍射干涉 E7rDa1  
6.5白光干涉测量技术 hb}+A=A=+  
6.6外差干涉测量技术 U/!TKic+  
6.7补偿法检测非球面 k$blEa4  
6.8计算全息法检测非球面 F(>Np2oi6  
参考文献 ,U2*FZ["  
文摘 8WXQOo8  
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