案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1479
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
<NWq0 3:&  
微光学元件的分析和设计
]Bj2;<@y  
透镜阵列
yQ0:M/r;0  
$Da?)Hz'F  
( 4(,"  
|p.|zH  
O',Vce$  
蝇眼聚光镜
@ Fkhida  
-nXlW  
2F :8=_sA  
vb6kr?-i*  
Y'C1L4d  
衍射扩散器
>#VNA^+t  
m~0Kos%^*b  
1xI  
slzB#  
rCUGaf~  
单元阵列    光栅单元阵列
T~L&c  
niqknqW<t  
|j~l%d*<w  
YPW UncV  
?4^ 0xGyE  
            棱镜单元阵列
2Qt!JXC  
1mD)G55Ep  
4Cv*zn  
LcZ|A;it  
y @S_CB 47  
            反射镜单元阵列
%&S9~E D  
te4=  
F1A40h7R$Y  
^t:dcY7  
#_{Q&QUk  
DOE产生的光分布
o7 t{?|  
高帽
U*b7 Pxq;  
/3&MUB*z&y  
|{v#'";O:  
R0%M9;>1  
VD< z]@  
平顶
)2_[Ww|.  
.G#li(NWH  
;tSA Q  
<{GVA0nr  
`nKN|6o#x  
焦线
,J8n}7aI  
=3 Vug2*wd  
AgZ?Ry  
G;$; $gM  
K8R>O *~  
二元二维强度分布
&gPP# D6A  
BlQ X$s]  
kRc+OsY9  
r! HXhl  
xJ2I@*DN  
任意二维强度分布
BM`6<Z"3q  
&7oL2 Wf  
+FAj30  
lPI~5N8  
JJM<ywPGp  
点阵
I}m20|vv  
N!Rt040.%  
}z x ~  
3 ye  
-rn6ZSD)  
点线
J|].h  
W"^=RY  
~7U~   
marZA'u%B1  
T4HJy|  
整形和匀滑
//_H _ue$  
单色LED
t2s/zxt  
uINdeq7|F  
8M@'A5]  
tw>2<zmSi%  
p*&0d@'r  
白光LED
d.^g#&h  
(rd [tc  
m$kQbPlatN  
{VL@U$'oI  
QCF'/G  
准分子激光
Z(T{K\)uN  
dy&UF,l6  
jb -kg</A  
ksOGCd^G7  
>w@+cUto  
常见光束整形推荐使用的工具箱
A913*O: \  
推荐的工具箱
4=xi)qF/@  
%,kP_[!>Q  
)rD!4"8/A  
r8J7zTD&  
Dj&~x  
优化
3}0\W.jH  
局部和全局参数优化
G @..?>  
s|]g@cz an  
,erf{"Nh  
'7-Yo Q  
] 3"t]U'f  
使用参数运行的全局优化
DK)W ,z|  
4^tSg#!V{  
rp||#v0l!w  
i#]e&Bru5  
_\}'5nmw\  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
 ?pTX4a&>  
CJBf5I3  
q8v[u_(yD  
_h~ksNm5u  
=|S%Rzsk  
单元阵列设计算法
[1VA`:?W  
<W80AJ  
 `Vb  
Nr~$i%[  
c=oDzAzuV\  
公差仿真
<v:VA!]  
高度公差
AK2Gm-hHK  
E-bswUVaEE  
}02`ve*   
_M&TT]a  
7A)\:k  
掩膜蚀刻深度公差
}TmOoi(X@  
 Y'iX   
GXtMX ha,  
`>gG"1,]  
\<4N'|:  
边缘圆滑模拟
*@2Bh4  
Zv u6/#  
Z*%;;&?  
O VV@  
2ym(fk.6{  
对准误差
Kc MzY  
`g)}jo`W  
[ GLH8R  
h0GoF A<  
X z+%Ym  
波长误差
) r2Y@+.FN  
8+zW:0"[  
R'Sd'pSDN  
IC`3%^  
/WrB>w  
远场和近场分布的变化
RJrz ~,}  
sVLvnX,  
BQ@7^E[  
1Ms[$$b$  
bjZJP\6  
由参数运行产生的实验系列
p8 rh`7  
Wv;0PhF  
a~$XD(w^  
D JP6Z  
D tsZP (  
加工数据的导出
8:ubtB  
GDSII文件
`c`VIq?  
mxa~JAlN_  
?YhDjQs  
)`u17 {  
(`x_MTLL  
CIF文件
DiCz%'N  
%( )d$.F  
L kt4F  
o`U}u qrO  
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位图文件
o2/:e  
_:x]' w%  
R+ * ; [  
7- B.<$uC  
^QK`z@B  
ASCII/.csv文件
"F F$Q#)  
o+A7hBM^  
Z%t_1t  
OgQd yU  
|{(<A4W  
Point-Cloud文件
]33!obM  
t^s&1#iC  
b?H"/Mu.  
dkQ4D2W*\  
<r%K i`u(p  
STL文件
j3j?2#vR  
&Mh.PzO=b  
YIQD9  
GO"`{|o  
r`H}f#.KR  
蚀刻掩膜的计算
qBA)5Sv\V  
+8Xjk\Hi  
KX) n+{   
|'^s3i&w  
C@(@n!o:!  
自定义
v"*r %nCi  
可编程元件
Od1\$\4Z  
j=WxtMS  
|OeyPD#  
L9b.D<  
f56yI]*N=<  
可编程探测器
cslC+e/  
TdhfX{nk  
S%SYvA  
oD)x\ )t8  
byHc0ktI\  
可编程光源
v{u3[c   
c%&,(NJ]K  
]OAU&t{  
\CB^9-V3  
|t,sK aL  
MATLAB可编程界面
7B?Y.B  
wNB?3v{n  
|G j.E  
5Xq+lLW>  
~ua(Qm  
C#可编程界面
SN6 QX!3  
dOjly,!  
Dri6\/0  
;jP sS^X  
d$ouH%^cGu  
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