案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1408
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
d+fSo SjX8  
微光学元件的分析和设计
g(E"4M@t!  
透镜阵列
,5Vt]#F5@  
#UP~iHbt\  
;2xO`[#  
PoSpkJH  
[g|Y7.j8  
蝇眼聚光镜
MXtkP1A `  
+0l`5."d  
!wz/c M;  
vX|UgK?2^  
 C})'\1O%  
衍射扩散器
BMyzjteS+  
#FxPj-3(ix  
RP4Ku9hk  
kFLB> j97  
1fU,5+PH  
单元阵列    光栅单元阵列
DGESba\2+  
eOT+'[3"  
"tk-w{>  
w?Ju5 5  
l@Z6do  
            棱镜单元阵列
nw:-J1kWR  
7V7zGx+Z7  
?#A]{l  
_ QOZ sEe  
r=.A'"Kf  
            反射镜单元阵列
+j14Q$  
^Q<mV*~  
~nLN`H d  
/b#l^x:j  
q!~ -(&S  
DOE产生的光分布
s"KJiQKGM  
高帽
nk"NmIf  
OWq'[T4  
K$ }a8rH  
"_UdBG  
HeGY u?&  
平顶
x3+oAb@o/  
-_OS%ARa  
Lo.rvt  
`mfq 2bVc  
>4` dy  
焦线
^ <`(lyph  
Ga>uFb}W~  
=<@2#E)  
-7H^n#]  
X!hIwiA,t  
二元二维强度分布
@oP_;G  
a 3SlxsWW  
_n8GWBi  
eYUr-rN+)z  
.jw}JJ  
任意二维强度分布
qVqRf.-\  
Vgb *% I  
( lm&*tKm  
/'2O.d0}.  
M,5j5<7  
点阵
h5_G4J{1  
@Hb'8F  
BaF!O5M  
&.13dq  
@!N-RQ&A  
点线
EI>6Nh  
cLa]D[H  
q#A(gyy  
EJ}!F?o  
D%mXA70  
整形和匀滑
RgdysyB  
单色LED
l- pe4x  
v44}%$  
V"o7jsFH6n  
D-Vai#Cd  
]r! >{  
白光LED
YYEJph@06q  
b !@Sn/  
,Y?sfp  
_-!sBK+F  
PP~rn fE  
准分子激光
`i) 2nNJ"  
HjqB^|z  
<$w?/y/'  
o}Odw;  
TC~Q G$NW  
常见光束整形推荐使用的工具箱
Sd/?&  
推荐的工具箱
v8gdU7Ll,  
L9Z;:``p  
OdWou|Gz  
(iJ1 ;x  
h eaRX4  
优化
Tu{&v'!j6  
局部和全局参数优化
X8dR+xd  
2$_9cF Wm  
?&LZB}1R  
FlfI9mm  
I$NhXZ)KT  
使用参数运行的全局优化
Xtz-\v#0o'  
N"/-0(9[  
I1X /Lj=  
S-31-Zjw  
,uw132<b  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
SvN9aD1  
9!9Z~ /*m  
 ;N B:e  
#po5_dE\*  
zWpqJK   
单元阵列设计算法
O%1v) AT&\  
RT93Mt%P  
R(P%Csbqh  
mS#zraJn5  
B QcE9~H  
公差仿真
e{;OSk`x  
高度公差
a$"ib  
}?cGf- c  
c`lJu_  
=ji1S}e~p  
dC=)^(  
掩膜蚀刻深度公差
*5zrZ]^  
"fg](Cp[z  
%}86D[PF  
M3p   
>FhK #*Pa  
边缘圆滑模拟
U. AjYez  
+(xeT+J  
WwC 5!kZ  
UA[,2MBp  
ZpUCfS)|&  
对准误差
j1SMeDDM ~  
bX.ja;;   
MYBx&]!\  
{_(\` >  
2=?tJ2E  
波长误差
_#$ *y  
iX'rU@C  
#jAqra._b  
pLMRwgzr  
g8!wb{8?s  
远场和近场分布的变化
f84:hXo6  
axHK_1N{  
^Qu iH'  
| ohL]7b<  
=%zLh<3v  
由参数运行产生的实验系列
{bO|409>W  
s >0Nr  
5Z4- Z  
!6Sd(2  
2F%W8Y 3  
加工数据的导出
Soie^$ Y  
GDSII文件
8/z3=O&  
+0),xu  
:V2bS  
kNu'AT#3|  
O]f/r,4@  
CIF文件
1 T130L  
nhG J  
IVr 2y8K  
2<mW\$  
[~:-&  
位图文件
2,aPr:]  
pT?Q#,fh  
XC7%vDIt  
.To;"D;j,  
g*w<*  
ASCII/.csv文件
{cpEaOyOM  
yqSs,vz  
GE|+fYVM-$  
qS&%!  
vK$"# F~  
Point-Cloud文件
N_L,]QT?  
qyHZ M}/  
?Qb<-~~ j1  
p;?*}xa  
fF*`'i=!  
STL文件
KJE[+R H+z  
]pEV}@7  
uP\lCqK,  
Bx[rC  
^I KO2Ft  
蚀刻掩膜的计算
&D%(~|'  
7u\*_mrv  
K/ &?VIi`z  
H A}f,),G  
B*htN  
自定义
I ];M7  
可编程元件
W4;m H}#0  
Y32O-I!9u  
"^I mb,  
H' T  
g<*BLF  
可编程探测器
/yLZ/<WN  
H"2uxhdLK3  
%LXM+<N8  
~lEVXea!  
S' dV>m`  
可编程光源
5-)#f?  
va f&X]p  
iVB^,KQ@  
TwyM\9l7  
?)'~~ @NkH  
MATLAB可编程界面
(h']a!  
cNzt%MjP  
?Z\Yu'  
LtT\z<bAI  
bYe;b><G  
C#可编程界面
(BX83)  
_w@qr\4i=  
elG;jB  
M>jtFP <S  
P?BGBbC  
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