大口径光学镜面超精密加工机床的研制.PDF，需要的下载。 KBmO i
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摘要：设计制作了最大加工直径为Ø880mm的光学镜面超精密加工机床．该机床采用大理石床身、4轴数控联动、全气浮支承和零传动结构，以实现光学球、非球及自由形面的超精密切削．介绍了机床整体结构特点和性能参数，描述了气浮电主轴、气浮直线导轨、直驱回转工作台等关键技术及部件．该机床主轴回转精度0.05μm，直线伺服轴分辨力1.25 nm，回转工作台角位移分辨力0.009”。在硬铝和无氧铜材料上分别加工出了面形精度0.5μm、表面粗糙度5nm的Ø400mm球面和面形精度0.5μm/Ø100 mm、表面粗糙度8nm的非球形面。 5mD8$% \8
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关键词：光学镜面；超精密加工机床；纳米切削；气浮电主轴
