等离子体清洗设备的应用
Y"yrc0'&T u&UmI-} M_2>b:#A* 应用领域： KT >Y^ 1、清洗光学器件、电子元件、激光器件、镀膜基片、芯片
{d0-. • 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片
d~h;|Bl[ • 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质
iDhC_F| • 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石
rX>b R/ • 清洗半导体元件、印刷线路板
a) P r&9I • 清洗生物芯片、微流控芯片
oGl <i • 清洗沉积凝胶的基片
P4eH:0=# d"Wuu1tEY 2、牙科领域：对硅酮压模材料和钛制牙移植物的预处理，增强其浸润性和相容性
(uhE'IQ{ ( [/VpvQ' 3、医用领域：修复学上移植物的表面预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性，医疗器械的消 毒和杀菌
@7.7+blS"H ~kSO YvK$' 4、改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力
`NEi/jB H270)Cwn+ 5、去除金属材料表面的氧化物
o)7Ot\:E iXL^[/}&?M 6、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化，增强其表面粘附性、浸润性、相容性
:M f8q!Q' cs9h\]ZA 7、高分子材料表面修饰
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v.8 一、金属表面去油及清洁
$|3zsi2 UwF-*(#41 金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：
'gg < )Bd wAX;)PLg 1.1灰化表面有机层
Fu5Y<*x －表面会受到化学轰击
fiD,HGx
i －在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发
KZVdW@DY －污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出
q5'G]j{,Z －紫外辐射破坏污染物
cL;%2TMk 因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。
~K< h~TNP HuU $x ;~ 1.2氧化物去除
@o^$/AE? 金属氧化物会与处理气体发生化学反应
.>.GQ Ur 这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。
CmBgay o|c6=77043 1.3焊接
Gau@RX:O 通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。
lBs-u h &NoA, `|7 1.4键合
%Q &'] 好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。
<j,3Dn _od /)# 二、等离子刻蚀
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Q JrXn6` 在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。
gW --[ 等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。
$;Iz7:#jN eB1NM<V 三、刻蚀和灰化
<g;,or#$ h$6'9 rL&i PTFE刻蚀
Haek r*1% PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。
dg|x(p# 等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。
J@E]Fl *i:8g( PTFE混合物的刻蚀
3\
Mt+!1{ PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。
8#Z)qQWi_t t&= bW<6 处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。
Tj_K5uccU} S#B%[3@ 四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁
bPP@ ?YZgH>7" 塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。
h9<PP2.( • 不需要用溶剂进行预处理
ly0L)L]\ • 所有的塑料都能应用
7 vFmB • 具有环保意义
'PY; • 占用很小工作空间
A46q`l9B • 成本低廉
vN],9 q 等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等
|9]-_a b+J|yM<` < 3@nv % 9"+M Z $ 五、等离子涂镀
%N ~c9B @-\=`#C** 聚合
+p Ywc0~ 在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。 常用的有3种情况
F9K` N8wlu • 防水涂镀—环己物
{nUmlP=mS • 亲水涂镀---乙烯醋酸
YjTr49Af0 • 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体
% H" Fs $FR-x fx(8 o+ 欢迎大家来电咨询交流,索取详细资料。 zNrn|(Y%Y
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