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    [求助]AR膜反射率不良时如何调整 [复制链接]

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    离线wugujianwgj
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    只看该作者 10楼 发表于: 2014-10-17
    AR就用晶控控制看看呗。
    离线ouyuu
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    只看该作者 11楼 发表于: 2014-10-21
    回 leehow534 的帖子
    leehow534:气压,膜厚,光量比值都没问题,很奇怪呀。 }[p{%:tP  
    有些膜层同样的膜厚10几个NM,监控玻璃有时候有极值有时候又没有,何解? I7ao2aS  
    大多数情况下没有极值,根本看不出来规律来 (2014-04-01 23:20)  ^z?b6kTC  
    JF=R$!5  
    薄层,特别是二氧化硅薄层,还是用晶控。 :qzg?\(  
    另外,看一下光控片有没有问题,高度是否一致,是否水平放置。 @r"\bBi  
    光控片换新的试试,装之前擦一下。
    离线teddy0586
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    只看该作者 12楼 发表于: 2014-12-09
    可以考虑换下靶的材料
    离线yzhuang
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    只看该作者 13楼 发表于: 2015-04-04
    如果是国内的设备,还是晶控比较好,光控最好的还是莱宝
    离线seven_117
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    只看该作者 14楼 发表于: 2018-04-08
    不懂,还在学习中
    离线johnyu
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    只看该作者 15楼 发表于: 2018-09-05
    薄層問題 +M j 6.X  
    %i9S"  
    解決方法: z{XB_j6\=  
    Mc,79Ix"  
    最簡單就是用石英控控制薄層 ?9 huuJ s7  
    Ww<Y]H$xZ<  
    或薄層的鍍率用慢點 ]\yIHdcDi  
    [S6u:;7  
    去試試看
    离线onlye
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    只看该作者 16楼 发表于: 2019-01-30
    主要控制膜厚和折射率
    离线opticsrain
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    只看该作者 17楼 发表于: 2019-04-29
    看变化的大不大吧,如果在机器的误差范围之内变化是正常的,如果是连续的同一机器镀膜,每次都不一样,应该是设备出现了不良,EB,膜厚计,离子枪等不良都有可能。
    离线jepatwin
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    只看该作者 18楼 发表于: 06-22
    膜系敏感层