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    [求助]AR膜反射率不良时如何调整 [复制链接]

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    离线leehow534
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2013-12-13
    目前已知的是： V\c`O  
    1.根据TFC演示，膜厚调整 D;:p6q}hT  
    2.如果蒸发速率过小，就把预熔功率加大些 7 /" Z/^  
    没有其他方法了吗，各位亲们？ A0ZU #"'/  
    %xX b5aY  
    同样的条件连续镀为什么每次反射率图形都不一样咧？ f(EO|d^u  
    [ 此帖被leehow534在2013-12-15 22:46重新编辑 ]
     
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    离线fagbit
    助理工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2013-12-14
    问题不是很清楚，AR膜怎么扯到分光？
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    离线leehow534
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    只看该作者 2楼 发表于: 2013-12-14
    就是反射率图形老是变来变去

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    离线leehow534
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    只看该作者 3楼 发表于: 2013-12-14
    就是调整反射率图形规格内

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    离线jack0827
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    只看该作者 4楼 发表于: 2014-01-08
    确认每次预融的一致性，还有相关的真空度。
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    离线李仁锋
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    只看该作者 5楼 发表于: 2014-01-09
    你是不是用的310，可能里面设置有问题QQ81398665
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    离线245136615
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    只看该作者 6楼 发表于: 2014-02-17
    晶控？电子枪的功率，光斑的大小是不是变化了，没有压控的话，注意真空度是不是有变化
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    离线qxb2008
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    只看该作者 7楼 发表于: 2014-03-19
    这就说明楼主你的镀膜条件重复性很差啊，如果机台系数没弄错的话。问题可以分两种情况：一种是镀膜机的重复性差，一种是膜系敏感层太多。镀膜机的重复性差要考虑的因素就多了：真空度/温度/充氧/蒸镀速率/伞差/蒸发角度等；膜系的敏感层可以通过二次优化进行调整。总之一个条件一个条件的去确认，总会找到问题的。 %vRCs]  
    希望能帮到你。
    共1条评分 ，光币+1
    光迹 光币 +1 精彩回帖，奖励！ 2020-07-25
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    离线rollo_tomasi
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    只看该作者 8楼 发表于: 2014-03-31
    真空镀膜工艺的重复性受到很多因子的影响，需要控制很多的参数和工艺条件!
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    离线leehow534
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    只看该作者 9楼 发表于: 2014-04-01
    气压，膜厚，光量比值都没问题，很奇怪呀。 T1(*dVU?  
    有些膜层同样的膜厚10几个NM，监控玻璃有时候有极值有时候又没有，何解？ ULzrJbP'7  
    大多数情况下没有极值，根本看不出来规律来
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