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    [求助]AR膜反射率不良时如何调整 [复制链接]

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    离线wugujianwgj
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    只看该作者 10楼 发表于: 2014-10-17
    AR就用晶控控制看看呗。
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    离线ouyuu
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    只看该作者 11楼 发表于: 2014-10-21
    回 leehow534 的帖子
    leehow534:气压，膜厚，光量比值都没问题，很奇怪呀。 }0eF~>Df  
    有些膜层同样的膜厚10几个NM，监控玻璃有时候有极值有时候又没有，何解？ ./,/y"x  
    大多数情况下没有极值，根本看不出来规律来 (2014-04-01 23:20)  Xp >7iX!:  
    B$- R-S6  
    薄层，特别是二氧化硅薄层，还是用晶控。 G.rrv  
    另外，看一下光控片有没有问题，高度是否一致，是否水平放置。 5Eg1Q YVt  
    光控片换新的试试，装之前擦一下。
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    离线teddy0586
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    只看该作者 12楼 发表于: 2014-12-09
    可以考虑换下靶的材料
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    离线yzhuang
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    只看该作者 13楼 发表于: 2015-04-04
    如果是国内的设备，还是晶控比较好，光控最好的还是莱宝
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    离线seven_117
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    只看该作者 14楼 发表于: 2018-04-08
    不懂，还在学习中
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    离线johnyu
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    只看该作者 15楼 发表于: 2018-09-05
    薄層問題 z8QAo\_I(  
    %1H[Wh(U  
    解決方法: ?3*l{[@J  
    3AQZRul  
    最簡單就是用石英控控制薄層 ~;1l9^N|  
    J/\V%~ 1F  
    或薄層的鍍率用慢點 lLp^Gt^}w(  
    7N-w eX  
    去試試看
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    离线onlye
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    只看该作者 16楼 发表于: 2019-01-30
    主要控制膜厚和折射率
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    离线opticsrain
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    只看该作者 17楼 发表于: 2019-04-29
    看变化的大不大吧，如果在机器的误差范围之内变化是正常的，如果是连续的同一机器镀膜，每次都不一样，应该是设备出现了不良，EB，膜厚计，离子枪等不良都有可能。
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    离线jepatwin
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    只看该作者 18楼 发表于: 06-22
    膜系敏感层  
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