luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
i
?PgYk&}
JFFluL=- 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
"p]!="\ 定义
spT$}F2n T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
=SD^Jl{H 修正时
Jq?Fi'2F% T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
6bN8}\5 gY!?JZC-0 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
JKV&c=I N}>[To3 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
Q^bYx (r5w 反过来说,
-2'1KAk-W 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
iDWM-Ytx 如果发现波长短了, 薄 小 。