luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
D^S"6v"z
' L-h2 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
Flaqgi/j 定义
R(s[JH(& T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
QN;GMX5& 修正时
n5Mhp:zc, T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
&MBm1T|Y NNBT.k3) 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
ddY-F
}z~ g,B@*2Uj 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
DAy|'%rF1- 反过来说,
w{riXOjS4 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
L7"<a2J 如果发现波长短了, 薄 小 。