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    [讨论]搞镀膜三年多,有啥问题,可以来求教啊! [复制链接]

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    离线luffy17520
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2013-11-21
    镀膜注重交流,从事镀膜三年,各种问题都遇到过 %Ie,J5g5  
    在此开贴交流 y1~ QKz  
    本人用过光驰otfc nbpf 修过mask,装过离子源 0%;| B  
    最近使用韩一的机器镀介质膜,金属 Anpp`>}N  
    大家可以交流镀膜经验 trjeGSt&  
    本人在设计膜系方面也是比较强的,简单的ar到窄带滤光片
     
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    离线x-m6
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    只看该作者 1楼 发表于: 2013-11-21
    我想毕业后从事这方面行业,它发展前景如何?
    离线leehow534
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    只看该作者 2楼 发表于: 2013-11-28
    你好,昭和的机器用过吗? #nft{AN  
    为什么我们的机器条件以前用得很好,现在总是不良啊,图形老是变来变去的? q o-|.I  
    SIO2+OS50 7层 AR
    离线jiangguang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2013-12-02
    回 leehow534 的帖子
    leehow534:你好,昭和的机器用过吗? la]Zk  
    为什么我们的机器条件以前用得很好,现在总是不良啊,图形老是变来变去的? NB(  GE  
    SIO2+OS50 7层 AR (2013-11-28 06:48)  oK"#*n  
    Q2@yUDd!  
    机器不稳定了 维护机器吧
    离线甲虫
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    只看该作者 4楼 发表于: 2013-12-09
    请问 K9玻璃镀单层氟化镁是什么颜色?
    离线ken_jinyan1
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    只看该作者 5楼 发表于: 2013-12-09
    请教个问题,最近镀os50/ SIO2   6层AR膜。 &v+Hl ^  
    之前一直是使用AL2O3    H4   MFG2镀AR膜。 jSvo-  
    os50 镀4层1.5KA  测的TOOLING     sio2镀5层1.2KA测的tooling &=.7-iC|W  
    如果两种试料镀0.3KA的厚度。  问下TOOLING是要变大还是变小?
    离线ken_jinyan1
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    只看该作者 6楼 发表于: 2013-12-09
    我用1.5KA测的TOOLING值,计算出镀0.3KA左右的实际厚度。 jouT9~[L'  
    经过软件模拟,好像 是比较薄的膜层,镀少了。    1KA左右的膜层,变化不大。
    离线jiangguang
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    只看该作者 7楼 发表于: 2013-12-10
    回 ken_jinyan1 的帖子
    ken_jinyan1:我用1.5KA测的TOOLING值,计算出镀0.3KA左右的实际厚度。 ln=:E$jX  
    经过软件模拟,好像 是比较薄的膜层,镀少了。    1KA左右的膜层,变化不大。 (2013-12-09 16:39)  L)/^%/!  
    9TOqA4  
    两种材料一个TOOLING? zvP>8[   
    离线leehow534
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    只看该作者 8楼 发表于: 2013-12-11
    回 jiangguang 的帖子
    jiangguang:机器不稳定了 维护机器吧 (2013-12-02 22:26)  %oEvp{I  
    r:uW(<EP^  
    感觉还是条件问题,机器上月厂家的人才维护过,现在光量电压300+MV
    离线jiangguang
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    只看该作者 9楼 发表于: 2013-12-17
    回 leehow534 的帖子
    leehow534:感觉还是条件问题,机器上月厂家的人才维护过,现在光量电压300+MV (2013-12-11 21:06) p-t*?p C  
    ?hQ,'M2  
    你确定维护好了吗?厂家的人没准没你水平高。自己去测量下每次的真空度时间吧,基本图形变来变去就是真空不稳定,引起真空不稳定的因素:漏气,电压不稳,扩散泵有水气,可以从这两个方面研究。 )4P5i b