[求助]求助各位镀膜工程师前辈 [复制链接]

老兄你这个问题解决了吗？ Z6F>SL  
对于你这个问题你主要提的外观问题，没有膜层性能不良问题。我观点分析如下： ]PJb 9$f2  
1.如果是镀mgf2时钟罩的温度不够容易产生脱膜。 o7' cC?u  
2.如果真空度不够膜层容易出现膜强度弱，即擦拭就会造成划痕。 JY8wo5H  
3.如果是镀膜硬件和镀膜工艺问题的话，首当其冲的是性能不量. !r]
elX  
4.直接造成产品外观不量的问题主要还是玻璃片镀膜前的洁净度不够，即有脏污残留。此残留一般是肉眼不容易检查的残留。且不影响镀膜后产品的指标和性能。 d~1Nct$:
 
5.如果是产品洁净度问题，外观上一般产生局部性发雾，或同一炉产品有一部分轻微，一部分严重，也可以出现良品。如果是设备和 工艺问题就会出现外观不良状态的均衡性。即不良的样子都一样，且全部都是，不分轻重。 ;$gZ?&  
希望能够对你有帮助，镀膜和清洗工艺交流可以联系我：13620221452  QQ294955027

Al2O3的速率：3A/s teh$W<C  
ZrO2的速率：3A/s F[uy'~;@  
MgF2的速率：6-8A/s ,&[2z!  
烘烤温度：300℃左右，从关门到镀完MgF2，不要停 SA@MJ>Z  
可以不用离子源， mVFz[xI  
可以不充氧气

建议用LaTiO3和MgF2