切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    123456...15下一页
    到第
    页
    • 31345阅读
    • 146回复

    [分享]光刻机镜头设计 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线hhxxgg00
    论坛版主
     
    发帖
    1470
    光币
    13129
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2013-03-29
    本文针对极大规模集成电路制造的工业化生产需求，开展面向 100nm 曝光节点的高数值孔径（NA）、深紫外（DUV）投影光刻物镜的光学设计与仿真。即综合元件加工、检测、镀膜、光学材料、机械结构、照明系统以及分辨率增强等各项技术要求和约束，完成 NA0.75，工作波长 193nm（ArF）投影光刻物镜的光学设计。同时为最大限度地降低投影光刻物镜的制造成本并确保的各项性能指标，研究投影光刻物镜可能采取的像质补偿措施和方法。 jZ; =so  
    CAJ文件 fikkY=  
    长春光机所  博士论文 @=kSo -SX  
    )dSi/  
    附件: 投影光刻物镜的光学设计与像质补偿_许伟才.part1.rar (2048 K) 下载次数:346 ，售价:1光币[记录]
    附件: 投影光刻物镜的光学设计与像质补偿_许伟才.part2.rar (2048 K) 下载次数:344 ，售价:1光币[记录]
    附件: 投影光刻物镜的光学设计与像质补偿_许伟才.part3.rar (2048 K) 下载次数:333 ，售价:1光币[记录]
    附件: 投影光刻物镜的光学设计与像质补偿_许伟才.part4.rar (192 K) 下载次数:209 ，售价:1光币[记录]
    共1条评分 ，光币+10
    cyqdesign 光币 +10 - 2013-03-29
     
    这个时代，每个人都在大声说话，每个人都在争分夺秒。我们用最快的速度站上高度。但是也在瞬间失去态度。当喇叭声遮盖了引擎声，我们早已忘记，谦谦之道才是君子之道。你问我这个时代需要什么，在别人喧嚣的时候安静，在众人安静的时候发声。不喧哗，自有声。
    回复
    举报
    分享到
    离线qsj98
    实习生
    发帖
    50
    光币
    50
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2013-03-29
    看看,学习学习.
    回复
    举报
    离线superyu2009
    高级工程师
    发帖
    1961
    光币
    4028
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2013-03-29
    谢谢 看看学习
    回复
    举报
    离线qsj98
    实习生
    发帖
    50
    光币
    50
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2013-03-29
    已回复却看不见博士论文 .
    回复
    举报
    离线qsj98
    实习生
    发帖
    50
    光币
    50
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2013-03-29
    博士论文可以看见了,谢谢.
    回复
    举报
    离线yu-xuegang
    论坛版主
    发帖
    1570
    光币
    19409
    光券
    3
    只看该作者 5楼 发表于: 2013-03-29
    学习学习。
    回复
    举报
    离线zanmous
    助理工程师
    发帖
    435
    光币
    18
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2013-03-29
    看看，谢谢，支持，顶！
    回复
    举报
    离线sms55
    实习生
    发帖
    154
    光币
    13
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 2013-03-29
    学习学习
    回复
    举报
    在线vurtne_000
    高级工程师
    发帖
    1500
    光币
    5038
    光券
    0
    只看该作者 8楼 发表于: 2013-03-29
    支持一下 学习中
    回复
    举报
    离线小飞
    工程师
    发帖
    646
    光币
    3105
    光券
    0
    只看该作者 9楼 发表于: 2013-03-30
    看看！！！！！！！！！！
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表
    123456...15下一页
    到第
    页