夏克哈特曼
传感器是在经典夏克哈特曼测量方法的基础上发展起来的波前测量仪器。它与传统的数字式干涉仪比较具有结构简单、没有移动部件、抗震动能力强、对被测光的相干性没有要求、使用时无需参考光、可实时记录波前变化过程、并同时适用于连续光和脉冲光的测量等优点,现已广泛地应用在自适应
光学系统的实时波前探测、
激光器光束质量诊断、大口径光学元件面型检测以及记录镜面连续变化过程中。
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wF uh6!J 3I5WDuq 优点:
X4$e2f /=@vG Vp6 快速测量波前,对振动不敏感
JLu0;XVK 较大的动态范围,可用于直接测量某些非球面,特别适合
光学系统初期装调
+I <Sq_- 缺点:
]K7 64} 空间分辨率依赖于微
透镜阵列,远比干涉仪低
|&Pl 4P 其特性强烈依赖于
软件功能
A,{D9-% 应用
B0i}Y-Z 准分子、YAG等
激光器的光束诊断
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