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    离线andyhuang
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2012-10-21
    1，光驰镀膜机（光控式的）镀滤光片真的很准确，半年后再用同一程式镀出来的分光没什么变化的。 但现在要请教一下各位师傅了，光驰机的输入程序软件是EXCEL格式的，监控方式是LightRatioPeak，光控方式的光学厚度(如要镀多少上nm)和它的目标光量值是怎么计算出来的？有什么软件可以转换出来吗？ 2，本人设计软件一直都是用TFC，MACLEOD工只会一般的物理厚设计，没搞过转换，以前一直用晶控监控，物理厚度写入的，没用过光学厚度写入，也不会，所以诚心请教各位大侠了！！谢谢
     
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    离线yzhuang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2012-10-24
    发信给我，教你！yzhuang@163.com
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    离线280870377
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    只看该作者 2楼 发表于: 2012-10-26
    我搞镀膜9年了，有什么问题可以联系我280870377
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    离线245136615
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    只看该作者 3楼 发表于: 2012-12-30
    用MacLeod的话 把你的设计文件dds导出一个runsheet文件 光控的话选择波长范围最好是400nm-1100nm 理论上光控片一个点单层上的极值数越少精度越高，一般一个点只用两层。 光量在5%-95%之间精度越高，超过这个范围监控精度会低，，光控的波长选择尽量用同一波长监控连续的多个膜层，减少光度计的波长变化对机器的损耗有所降低
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    离线jiangguang
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    只看该作者 4楼 发表于: 2012-12-31
    光控要输入厚度吗？不是极值到了就按停止键么。。 -Q|]C{r  
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    离线拉比熊
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    只看该作者 5楼 发表于: 2013-01-13
    其实用TFC时可以导出来的
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    离线a060103112
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    只看该作者 6楼 发表于: 2013-02-27
    这个可以帮你解决，怎么计算太复杂，你得到学校去学；转换倒是有软件，此为截图，最后一列就是转换后的目标光量
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    离线拉比熊
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    只看该作者 7楼 发表于: 2013-03-16
    有事可联系我  178261994@qq.com
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    离线luffy17520
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    只看该作者 8楼 发表于: 2013-04-12
    使用光控的话不建议用厚度镀。一般规整膜系 存在镀厚度。 &(e5*Q  
    实在要用的话就是Macleod的厚度为准，毕竟tooling值在里面
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    离线ken_jinyan1
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    只看该作者 9楼 发表于: 2013-04-25
    楼主的问题，我也想知道。 cDK)zD  
    光驰机，光控模式，要输入起始光量、控制波长、极值点和目标值。 wuW{ 2+)B  
    现在TFC上有物理膜厚也有光学膜厚，就是不知道怎么转换的。
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