扫描电磁显微镜ky-2800b技术性能指标: {x<yDDIv_
分辨率:4.5nm(钨丝阴极) 6>j0geFyE2
放大倍数:15倍-250,000倍 Z^r?
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电子光学系统 FFpG>+*3
电子枪:发叉式钨丝阴极 d{:0R9
加速电压:0-30kV |7%#z~rT
透镜系统:电磁透镜 *W$bhC'w
物镜光阑:三个光阑可在真空外选择调节 &20}64eW%
样品室 jRNDi_u?Wb
六个接口,可接WDS、EDS、BSE等多种附件和探测器 &@/25Y2
样品台 m$}Jw<