扫描电磁显微镜ky-2800b技术性能指标: `+Xe'ey
分辨率:4.5nm(钨丝阴极) 6w@,I;
放大倍数:15倍-250,000倍 ifd}]UMQ
电子光学系统 [}@n*D$
电子枪:发叉式钨丝阴极 IF^[^^v+H
加速电压:0-30kV q:W q8
透镜系统:电磁透镜 "s>
>V,
物镜光阑:三个光阑可在真空外选择调节 !b'IfDp[-!
样品室 gDMAc/V`l
六个接口,可接WDS、EDS、BSE等多种附件和探测器 4^`PiRGt
样品台 J/=
+r0c
标准样品台位移:X=50mm,Y=50mm,Z=25mm s?5d
T=-5°~+90°,R=360° {DSyV:
大样品台位称:X=80mm,Y=50mm,Z=30 mm qZ233pc
T=0°~+90°,R=360° m_(E(_
计算机系统:PC机,基于MicrosoftTM WindowsTMXP软件操作系统,全中文菜单 OoE9W
图像显示与观察 _J` |<}?t;
数字图像,1024×768显示方式 1"M"h_4
17"彩色显示器 gfxoJihE
扫描方式:全幅、面、线、点、选区双放大及屏幕分割 |E?
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信号处理和工作方式 -S`TEX
交直流伽玛调制 自动聚焦 >2nF"?"=
低通滤波 自动消像散 <Ak:8&$O
图象旋转 自动亮度对比度 &bn*p.=G
动态聚焦 倾斜补偿 zv`zsqDJ
图像处理及分析 FzA{UO
图像增强 阈值分割 粒度分析 V;P1nL4L
形态学变换 图像灰度直方图显示 W3"vTZJF
灰度图像的伪彩色变换 PVZEB
图像输出与记录 >J9IRAm}sc
高分辨率CRT照相(2500线) j`{fB}
支持多种图像文件格式,支持视频打印机及各种标准接口打印输出设备 Ia=&.,xub
真空系统:全自动高速扩散泵真空系统