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    [下载]平面磁控溅射靶磁场的计算 [复制链接]

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    离线chenchao
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-12-18
    关键词： 磁控溅射磁场有限元
    平面磁控溅射靶磁场的计算摘要：精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要。本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布 ,理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符 ,通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场 ,发现减少磁极的尺寸可以扩展靶表面径向磁场区域 ,磁芯上方加圆锥形极靴可以增强磁芯上方径向磁场。 /-{O\7-D  
    }'V'Y[  
    关键词：磁控溅射；磁场；有限元法
    附件: 平面磁控溅射靶磁场的计算.rar (393 K) 下载次数:47 ，售价:2光币[记录]
     
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    离线maf999
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    只看该作者 1楼 发表于: 2012-06-11
    又要钱
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    离线maf999
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    只看该作者 2楼 发表于: 2012-06-11
    不能免费吗
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    离线ggtech
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    只看该作者 3楼 发表于: 2013-06-17
    谢谢。
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    离线scenery
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    只看该作者 4楼 发表于: 2013-08-03
    好贴！！！！！！！！！
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    离线大敏哥
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-12-26
    学习一下，很少见得资料 QoW ( tM  
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    离线hunter999
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-06-21
    xiexie fenxiang
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    离线18073266662
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-05-27
    VB和分隔符
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    离线18073266662
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    只看该作者 8楼 发表于: 2020-05-27
    看看学学一下
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    离线曹英朝
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    只看该作者 9楼 发表于: 2020-06-06
    tks!look look
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