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    [下载]非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜 [复制链接]

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    离线chenchao
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-12-18
    关键词： 纳米磁控溅射射线
    非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜摘要：采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的 Ti N /Zr N纳米多层膜 ,利用 X射线衍射分析(XRD)、 纳米压痕仪、 扫描电子显微镜 ( SEM)表征了薄膜的微观结构、 力学性能和断口形貌。结果表明 ,在调制周期为 30 nm时 ,纳米硬度达到 38 GPa。 f6$$e+  
    7A=*3  
    关键词：纳米多层膜；力学性能；调制周期
    附件: 非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN_ZrN多层膜.rar (485 K) 下载次数:2 ，售价:2光币[记录]
     
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