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    [求助]镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？ [复制链接]

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    离线e501559
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-11-01
    求解：镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？ 怎么理解它们之间的关系?
     
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    离线yzhuang
    论坛版主
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-11-08
    一般是通过控制功率来控制速率，而膜厚是速率乘以时间的累积，tooling是校正厚度而设的一个材料参数。具体为toolingX显示厚度＝实测厚度
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    离线xingmeng1227
    助理工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2011-11-09
    shoujiaole
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    离线cxb007007
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    只看该作者 3楼 发表于: 2011-11-12
    在一定条件下 功率大 速率高  相对折射率偏高  膜厚减少  
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    离线xingmeng1227
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2011-11-26
    zhemejiandan?
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    离线老城1234
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    只看该作者 5楼 发表于: 2012-08-15
    呵呵                这个也问啊
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    离线a060103112
    实习生
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    只看该作者 6楼 发表于: 2013-02-27
    其实吧，这些问题你自己好好想想应该是能明白的
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    离线scenery
    实习生
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    只看该作者 7楼 发表于: 2013-08-03
    新手，好好学习中
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    离线rexchou
    技术员
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    只看该作者 8楼 发表于: 2016-04-21
    鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料) l3)} qu  
    fD[*_^;h)  
    功率=電子槍功率 Z?h~{Mg  
    h`^jyoF"(  
    膜厚:薄膜厚度(nm) b,7k)ND1F  
    IG2r#N|C#  
    Tooling=誤差值=實際/理想 u_oaebOrpP  
    NPy&OcRl  
    v[1aW v:  
                                                                                                      來自台灣則米的SiO2王
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    离线jakzhou
    技术员
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    只看该作者 9楼 发表于: 2016-06-02
    鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料) wr$("A(  
    f%][}NN)Xr  
    功率=電子槍功率 11 Q1AN  
    A8muQuj]~~  
    膜厚:薄膜厚度(nm) Sc]B#/~B  
    <? q?Mn  
    Tooling=誤差值=實際/理想 Cio 1E-4  
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