光学技术,微电子的发展潜力——LASER World of PHOTONICS 2011带来半导体生产、薄膜和传感器技术的最新应用

作为核心基础技术之一，微电子是德国众多行业成功的基础。今天德国制造的所有产品中有一半使用了至少一个电子元件。80%的汽车制造创新与电气技术、电子和IT相关。光学技术则为电子技术的进步带来了活力：激光处理技术让芯片和硬件变得更小，也让各类复杂电子元件的自动化生产工艺更为精确。光学和电子元件的结合更为智能传感器系统应用打开了新的天地。在2011年5月23-26日举办的慕尼黑光博会（LASER World of Photonics 2011）上，领先厂商和研究机构将为您带来他们在表面结构、纳米加工和电子元件微处理等方面的创新。 _$m1?DZ  
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2011年4月28日，慕尼黑——光学技术的应用常常为微电子技术带来进步和效率提升。半导体产品越来越小的体积和高集成度已经让精密机床力不从心。与传统技术相比，激光技术有着更高的质量、吞吐量更大、生产成本也更低。电子生产中也存在着这种情况。相干公司（C1展厅，321号展台）Rainer Patzel博士在评价最新的微技术电子应用时提到：“智能手机或平板电脑等电子产品的快速发展都来自于各种功能元件性能的不断提高，其中元件的微小化尤其重要。激光技术的使用所带来的微影技术、激光钻孔技术和PCB板微焊技术使半导体芯片的生产和集成成为可能。同时，激光技术具有很强的灵活性，在这个技术更新换代层出不穷的时代优势明显。” @(any^QJ  
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激光加工革新铜焊接技术 dReJ;x4  
集成电路的工业生产中常使用到铜和一些贵金属合金。各类电子和非电子组件都通过激光束焊接到这些电路上。激光焊接所生产的产品具有高温稳定性，甚至可以用到汽车引擎内。目前激光束微焊接的主要劣势在于，因为有色金属和贵金属的高反射性，其焊接质量不够稳定，且对材料的选择也比较苛刻。 p* tAwl  
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LASER World of PHOTONICS 2011将为您带来一种新型的铜合金稳定焊接技术。该技术采用短脉冲激光（或称预脉冲模块）开始焊接过程。该激光具有极高的吸收率，能为接下来红外激光的工作提供良好的工作环境。这一工艺标志着激光束材料处理已经具有100%的稳定性，在微处理自动化和PCB板元件组装方面具有非常广阔的前景。 }o7"2hht  
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柔性表面结构带来成本降低  4_d'Uh&]  
在所有的微电子领域，更低的成本和更高的环保性都是电子微小化的主要目标。保留原材料状态或使用有机材料是朝这个方向努力的重要起点。因此，德国大力推广印刷电子，敦促其在有机或柔性太阳能板、OLED照明和显示技术等方面的应用。3D-Micromac公司（C2展厅，364号展台）首席技术官Jens Hänel先生说：“我们加快了柔性电路模块系统的开发力度，以生产出柔性有机太阳能板。超短脉冲激光的应用能够在保证最高的效率的同时带来最大限度的精确性和最低程度的材料损伤。同时，柔性电路具有更高的生产能力和处理面积。因此我们能大幅降低生产成本。” t&H3yV  
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系统竞争力为激光设备生产商带来优势 +t*Ks_V,*  
微处理激光技术也为半导体机构微小化带来了新的可能性。当所用标准材料无法进一步微小化，或者结构处理成本过高时，趋势总是向着多芯片模块迈进。此时，超短脉冲激光可以在所有的芯片硅基板上钻出所谓导电盲孔，使它们可以叠装起来。多块芯片的叠装代表着从平面到三维技术的转变，也为每块芯片带来了更高的性能。市场对半导体技术的新要求也表明，激光设备生产商应该对激光技术在未来电子终端产品和电子行业中的应用有更深刻的理解。SITEC技术公司（C2展厅，553号展台）系统技术销售经理Michael Lau强调：“基于应用的激光系统市场不断扩大，更要求厂商有提供系统技术解决方案的能力，包括对从材料选择、焊缝几何、光学设置到工艺设计和质量保证等各方面的透彻理解。” CYZ0F5+t  
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激光技术优化薄膜传感器生产 !1xX)XD4y  
作为一种精密检测装置，应变传感器可应用在汽车工程和医疗等诸多场合。目前，应变传感器的生产一般使用基于模板的结构技术。覆盖感应薄膜的工件首先利用光刻法刻出结构，之后使用激光脉冲将电阻元素同步进去。由于光刻法成本高，过去在面积较大的应用条件中更多的采用了薄膜压力和触力传感器。曝光技术也要求平面光滑。现在，由于表面结构和随后的阻抗优化处理都可以使用超短脉冲激光等工具一次性进行，因此可以做到无掩膜处理，也使结构处理成本更低，扩大了耐疲劳压力和触力传感器的应用范围。 8}{W.np_  
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丰富的应用研讨会活动 ,m1F<Pdts  
“激光微技术在电子行业中的应用”实用讨论会将于2011年5月25日10:00 – 12:30在LASER World of Photonics光电论坛（C2展厅）期间举行。会议由汉诺威激光中心Dietmar Kracht博士和相干公司Rainer Pätzel博士主持。五位行业专家将就激光技术微加工潜力做精彩演讲。瑞士LASAG公司Christoph Rüttimann博士和arteos公司Winfried Korb硕士工程师将探讨使用预脉冲激光模块进行激光束电焊铜片工艺的可能性。3D Micromac公司工程师Timo Petsch则将介绍在微机电系统（MEMS）和微光机电系统 (MOEMS)中的短脉冲激光元件处理技术进展。Manz公司工程师Christof Neugebauer先生将主要讨论利用激光技术生产锂电池的方法和它们对电动汽车概念的重要性。GFS Gesellschaft für Sensorik公司的Armin Siber博士将就超短脉冲激光技术可控去除传感薄膜表面材料并同时进行表面阻抗优化处理的方法做精彩演讲。相关演、主题以及所有同期活动信息均可在展会活动数据库中查看，网址：www.world-of-photonics.net/rahmenprogramm. yc.9CT
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