二元光学元件的研究将可能在以下方面发展 WaYO1*=
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1.亚波长结构二元光学元件 }h~'AM
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具有亚波长结构的二元光学元件的研究(包括设计理论与制作技术) 这类元件的特征尺寸比波长还要小,其反射率、透射率、偏振特性和光谱特性等都显示出与常规二元光学元件截然不同的特征,因而具有许多独特的应用潜力,如可 以作为抗反射元件、偏振元件、窄带滤波器和相位板。研究重点包括:建立正确和有效的理论模型设计超精细结构衍射元件;特殊波面变换的算法研究;发展波前工 程学,以制作逼近临界尺寸的微小元件及开拓亚波长结构衍射元件的应用,推动微光学的发展。 *:arva5
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2.二元光学的CAD软件包 )DZTB
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二元光学的CAD软件包的开发至今尚未找到适合于不同浮雕衍射结构的简单而有效的理论模型,二元光学元件的设计仍缺乏像普通光学设计程序那样, 可以求出任意面形、传递函数及系统像差、具有友好界面的通用软件包。但随着通用设计工具的发展,二元光学元件有可能成为通用的标准光学元件,而得到广泛的 应用,并与常规光学结合,形成一代崭新的光学系统。 <7gMl
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3.微型光机电集成系统 H%Y%fQ~^
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微型光机电集成系统是二元光学研究的总趋势微光电机械系统微光机械微电子机械微机械 1991年,美国国家关键技术委员会向美国总统提交了《美国国家关键技术》报告,其中第8项为“微米级和纳米级制造”,即微工程技术,它主要包括微电子 学、微机械学和微光学这三个相互关联相互促进的学科,是发展新一代计算机、先进机器人及智能化系统,促进机械、电子及仪器仪表工业实现集成化、微型化的核 心技术。二元光学技术则是发展微光学的重要支柱,二元光学元件有可能直接刻蚀在集成电路芯片上,并在一块芯片上布置微光学阵列,甚至完全集成化的光电处理 单元,这将导致包含各种全新的超密集传感系统的产生。