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    [讨论]纳米级加工 [复制链接]

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    离线jrwqz
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-01-10
    在光学加工中有没有能加工到纳米级的？是如何检测的？
     
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    离线leswen
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-01-11
    国内加工精度要达到这么高，目前还有困难啊~；目前微米级精度比较现实
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    离线oldchenj
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    只看该作者 2楼 发表于: 2011-01-29
    请问你说的纳米级具体是多少个纳米，我做过五十分子一波长的。
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    离线jrwqz
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    只看该作者 3楼 发表于: 2011-02-09
    1nm以下的加工和测量
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    离线jrwqz
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    只看该作者 4楼 发表于: 2011-02-09
    1/50波长的工件直径有多少？ -.^=Z!=M  
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    离线haha9528
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    只看该作者 5楼 发表于: 2011-02-15
    目前双光子加工聚合物可以达到纳米级！
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    离线chmkbx
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    只看该作者 6楼 发表于: 2012-01-20
    我们能加工纳米级的，检查是取镜面上的任意三个点，同时放大一千倍，要小于1nm。2楼同仁说的50分之一波长只能代表pv值，确实相当高了，但pv值不能代表纳米级表面。
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    离线lcj.214528
    技术员
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    只看该作者 7楼 发表于: 2012-03-23
    我们加工的光学模组表面光洁度RMS可以达到10个纳米（0.01UM)以下，面型精度PV或RT可以达到50-100个纳米以下（0.05UM-0.1UM)。至于检测，目前市面上有高精度的光学检测轮廓仪。如泰勒霍普森的PGI系列，松下的UA3P，翟柯（ZYGO)设备都能检测。
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