一、前言
\)?HJ W1=H8O 当前,高速发展的信息工业对集成电路
器件集成度的要求越来越高,这促使了人们不断探索能够突破器件尺寸极限的途径。随着对亚微米、深亚微米和微电子机械系统 (MEMS)的深入研究,
纳米电子学和纳米
光电子学应运而生,纳米量子器件也随之产生。纳米量子器件可简单地分为纳米电子器件和纳米光电子器件。纳米电子 器件包括共振隧穿器件(RTD)、量子点(QD)器件和单电子器件(单电子晶体管和单电子存储器)等;纳米光电子器件则主要包括基于应变自组装的纳米
激光器(如量子点、量子线、量子阱
激光器)、量子点红外光电探侧器、纳米级硅化铂薄膜肖特基势垒红外光电探测器等。
=>af@C.2 1HZO9cXJ 本部分内容设定了隐藏,需要回复后才能看到