一、前言
nXH U|5.I _ dFZR 当前，高速发展的信息工业对集成电路
器件集成度的要求越来越高，这促使了人们不断探索能够突破器件尺寸极限的途径。随着对亚微米、深亚微米和微电子机械系统 (MEMS)的深入研究，
纳米电子学和纳米
光电子学应运而生，纳米量子器件也随之产生。纳米量子器件可简单地分为纳米电子器件和纳米光电子器件。纳米电子 器件包括共振隧穿器件(RTD)、量子点(QD)器件和单电子器件(单电子晶体管和单电子存储器)等；纳米光电子器件则主要包括基于应变自组装的纳米
激光器(如量子点、量子线、量子阱
激光器)、量子点红外光电探侧器、纳米级硅化铂薄膜肖特基势垒红外光电探测器等。
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