供应用于制作光纤光栅的全息刻蚀的Lasiris相位掩模板

相位掩模板（PM：Phase Mask）其实质就是一个在石英衬底上制作的位相光栅，可以通过对入射光的位相调制，衰减或消除零级衍射，并提高某一衍射级次的衍射效率。用相位掩模板制作光纤光栅的原理就是，用UV光照射相位掩模板，然后利用衍射光束之间的干涉，在掩模板后面形成周期的光强分布，从而在光纤的纤芯引起周期性的折射率调制。如图所示。 dvyE._/v  

图片:PM制作FBG示意图.jpg

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Lasiris是世界上第一个使相位掩模板商业化的公司，1999年被实力雄厚的StockerYale收购，并得到了更大的发展。其特点包括： hB P]^~(  
一是制作工艺采用全息记录的方式而不是电子束刻蚀的方式，减少了由于“接缝误差”引起的旁瓣效应。 =ub&@~E  
二是基底材料采用熔融石英，损伤阈值比较高（一般情况下都要比照射的激光光强要大。 fa\<![8LAU  
三是长PM可以做的较长，最长可达120mm。 F8_pwJUpf-  

图片:长相位掩模板.jpg

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Lasiris TM 相位掩模板的基本参数如下： ?tqTG2!(  
工作波长       190 - 800 nm Jc`LUJT  
pm周期        0.4 - 1.2 μm cX7xG U  
模板周期精度     ±0.3 nm (±0.1 nm可选) kVkV~  
周期测量精度     ± 0.02 nm %j2YCV7  
基底/窗口尺寸   可根据要求定制 ukS@8/eJ  
啁啾范围(啁啾)   0.03 nm/cm - 40 nm/cm $'L(}gNv5  
啁啾精度           0.005nm/cm - 1 nm/cm（随啁啾改变） 7<IrN\@U  
损伤阈值        优于1 j/cm^2（248nm，50hz脉冲光的光强） kL*Q})  
衍射效率        0级衍射<=3 % , ±1级衍射>=33 % p'KU!I}  
                0级衍射<=1.0 % ，±1级衍射>=35 %（可选）
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AR coating       可选 ;lW0p8  
楔形角          < 30 arcsec ``w,CP ?  
衬底材料       康宁7980， 熔融透明石英 T*k K-
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厚度           3.175 mm ± 0.125 mm iP|h];a+@  
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