法国SILION公司 衍射光学元件

衍射光学元件（Diffractive Optical Elements) 简称 DOE， 又称二元光学器件，主要用于激光束整形，比如均匀化、准直、聚焦、形成特定图案等。法国SIIOS公司提供客户定制的衍射光学元件DOE，适用于对Nd:YAG、CO2、飞秒激光器、半导体激光器等各种激光器进行光束整形。根据不同的应用需求，衍射光学元件DOE可以作为全息片或菲涅耳波带片。其主要产品包括：- Beam splitter (or fan-out): used to split a single input laser beam in several output laser beams according to a defined diffraction pattern (spot array, dot matrix). nZ&T8@m  
- Beam shaper: used to shape a gaussian laser beam in a Top Hat, circular or cylindrical profile according to given intensity and plane. 4|FRg  
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- Pattern generator (or diffuser): used to generate patterns such as logo, squares, lines, circles according application needs. - Diffractive lenses: used to correct chromatic aberrations l_bL,-|E8  
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主要应用包括激光光束整形（如激光加工、医疗、成像系统、传感器，圆形或方形平顶光束整形，矩阵、栅格、线形、圆形图案整形）和用作天文学中的相位器件。典型应用描述如下： vlAO z  
1. 在科研中应用： lt{lHat1  
*   掺钛蓝宝石的泵浦光整形：衍射光学器件(DOE)将泵浦光YAG激光、倍频光束变成均匀的平顶光束，以免损坏掺钛蓝宝石晶体。 >'eB2  
*   腔内激光束整形：衍射光学器件(DOE)作为腔内相位镜将前放光束整形为均匀方形光束（*I*兆焦耳激光工程中已经使用）。 /SbSID_a  
*   飞秒激光束整形：掺钛蓝宝石飞秒激光光束整形以优化非线性效应。 S^|$23}  
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2. 在医疗中应用： Xg,0/P~  
*   对去皱纹的Er: G*ass激光束整形：衍射光学器件(DOE)将光束分成多个均匀光点进行治疗。 #-}kG"  
*   对治疗血管损伤的KTP激光束整形：衍射光学器件(DOE)使光束在治疗区均匀扫描。 w'!ECm>*`  
*   对治疗的准分子激光束整形：衍射光学器件(DOE)将光束变成完美的高斯光束以保证极高的治疗精度。 u82h6s<'W  
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3.  在激光加工中应用： o<Xc,mP  
*   焊接：衍射光学器件(DOE)将CO2激光光束变成圆环形均匀光束以便将能量分布在两个焊接器件上。 79

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*   切割：衍射光学器件(DOE)将Nd:YAG或CO2光束变成完美的高斯光束以保证极高的切割精度。 }Q!h ov  
*   热处理：衍射光学器件(DOE)将Nd:YAG,CO2或准分子光束变成均匀分布的平顶光束以便均匀加工。 >g>f;\mD7$  
*   打标：衍射光学器件(DOE)将Nd:YAG或准分子光束变成均匀分布的平顶光束以便控制标记深度与宽度。 mYiSR  
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4.  在天文学中应用： &/
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*   大气扰动模拟相位片：二维编码相位图模拟大气扰动的空间分布。 67}]s@:l](  
*   多个望远镜镜片相位调整：相位传感器与模拟器以便准直多个大型望远镜镜片。 ay=KfY5  
*   行星探测：日冕观测仪掩膜以减弱恒星高亮度光来观察邻近的行星。 VV?]U$  
*   成像系统的像差矫正相位片：菲涅耳衍射透镜矫正天文成像仪的像差。 7fap*  
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产品主要技术参数： `l+ >iM  
*   基片: 直径：可达100mm <sgZ3*,A  
*   厚度：0.5mm—9.5mm 9BqQ^`bu  
*   材料：熔融石英，BK7，… "}0)YRz%  
*   镀膜：AR增透膜（板片）或Rmax镀膜（镜片） 7vii9Am7  
*   编码相位图数据：客户提供相位图数据 F5<"ktnI  
*   像素尺寸：可达1 X 1μm2 yB0jL:|a  
*   编码相位图：多阶（2，4，8或16阶） S9$o  
*   波前PTV：0--2π