目标是 形成 一条 12mm 长 20um 宽的激光线, 要求边缘清晰度高,球差是主要的问题,所以决定使用非球面镜头,光源用的是650nm 的laser diode 发散角是9度 NA 0.08 和30度 NA 0.25 )EMlGM'2q
7
\xCNOKh
准备 用一片圆形的 NA 0.25 非球面镜头 来 准直 f)vnm*&-
U]pE{^\w
然后用一片 圆柱体 的 非球面镜头 来聚焦 , 因为有工作距离的要求, 会使用大概 NA 0.02 54{E&QvL8o
7 @\i5
当中用一片 10um 宽的 细缝来作field stop. )h ,v(Rxa
`C_qqf
大家看看这样的系统可行吗? (x%
4*
0x*1I1(c
谢谢大牛指点!