供应高精准薄膜度量系统与软件分析产品

高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 9Ue3
%?~c  
KquHc-fzqr  
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， ]d?`3{h9LD  
>XP]NY}Po[  
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 8r/]Q  
X5U.8qI3  
1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 qF=D,Dlz  
5%kt;ODS  
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 \~:Kp Kq  
jPYed@[+  
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. uRG0}>]|U  
(:E_m|00;  
1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米） F.c`0u;=  
2.折射率n qgrRH
'  
3.吸收系数k ju8tNL,J  
4.双折射率 I=l() ET=  
5.能隙（Eg） i;xH  
6.表面粗糙度和损伤 aB<~T[H%h  
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） tu6oa[s  
8.薄膜温度特性 p3I{  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 b!SGQv(^M  
 Y2vzK;  
应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 ;RZ@t6^  
;k^wn)JE$  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： bW<_K9"  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 OQaM47"  
邮件：wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com o!L1Qrh  
网址：http://www.emdeccn.com