供应高精准薄膜度量系统与软件分析产品

高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 cQ+,F2  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， _R-#I  

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其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 .FMF0r>l  
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1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 Sr+1.77}  
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应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 3t_5Xacj  
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2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. 1^W Aps  
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1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米） Z$hxo)|  
2.折射率n zYs? w=  
3.吸收系数k 4%6Q+LS']Q  
4.双折射率 hOC,Eo  
5.能隙（Eg） 6R,;c7Izhd  
6.表面粗糙度和损伤 j68Gz5;j  
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） iH$N HfH  
8.薄膜温度特性 D
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9.晶元曲率和薄膜耐压性 %FRkvqV*  
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应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 E
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详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： r\1*N.O3|O  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 DxD0iJ=W  
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