供应新型多种电子枪

一.概述 &mKtW$K` q  
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本蒸发源系坩埚由电机直接驱动、电子束偏转角为270º、用于蒸镀各种金属和非金属材料的磁偏转式E型电子束蒸发装置。 m49GCo k+  
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用于真空镀膜过程中电子束蒸发镀膜。实际中广泛应用于：增透膜、眼镜镀膜、光纤光学、高反镜、热/冷反光镜、低漂移滤波器、带通滤波器等。 <l(LQmM;  
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    电子束蒸发能够很好的控制薄膜厚度、控制薄膜的均匀性，增加镀膜的一致性和重复性，薄膜易于控制。 vZmM=hW~  
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   主要特点： 5vxJ|Hse@  
　　结构先进 znzh$9tH  
　　充分借鉴国内外先进的电子枪的优点，具有独特的水冷和密封结构，经多次长时间的实验证明，电子枪能够在很大的电子束流下长期稳定工作。 kcVEE)zb  
　　可在高温环境下长期可靠工作 1RZhy_$\.  
　　在通常镀膜工艺中，工件需加热至很高温度，整个真空室内温度很高，而本电子枪良好的冷却系统能保证电子枪在 400℃的高温环境下长期正常工作。　 m@R!
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　　完全适用于反应气体 {A2(a7vV  
　　在反应沉积镀膜过程中，通常需要用氧气或氮气等与蒸发的膜料进行反应沉积所需薄膜，在此过程中增加反应气体的活性和能量，对形成高质量薄膜至关重要。 &aqF||v%)  
    本电子枪可以在完全通入反应气体下正常工作。 x-,+skZs  
　　安装简便、维护简单运行成本低 )"2)r{7:  
　　本电子枪的安装非常简单，耗材只是灯丝及磁件，日常维护工作主要是更换灯丝及磁件。 0~Z>}(  
　　操作简单 kqYWa`eE  
　　电子枪的操作简单，通过调节电子枪的电子束束流以及扫描幅度即可使电子枪稳定工作（手动及全自动）。控制面板上能直接观察到灯丝电压、电流。 o nt8
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二、主要技术参数 ,8nu%zcVn  
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电子束偏转角	270o	阳极电压	6KV-15KV
阴极加热电源	AC 3V+3V， 60A 可调	束流	Fx*iAH\e   间冷坩埚0～500mA，直冷坩埚0～1A >}%
坩埚容量(标准型)	4孔间冷4×17mL，4孔直冷 4×22mL，环形直冷 85mL ;"$Wfy	磁场电源	X偏转电流 ±2A可调,扫描频率10～250Hz;Y偏转电流 ±2A可调,扫描频率10～250Hz ) RS*MEgA
启动真空度	6.7×10-3 Pa	坩埚定位(四孔坩埚)	电控自动或手动点控
坩埚冷却水	进水温度≤25℃，进水压力≥0.2MPa，水流量≥8L/min :[|4Zn	电子枪体接地电阻	≤4Ω