光纤Bragg光栅压力传感特性研究摘要:提出了以半导体硅材料作为光纤Bragg光栅(FBG)衬底的FBG压力传感密封型结构,并对其压力传感特性进行了研究,结果表明:FBG的中心反射波长漂移对压力呈现良好的线性响应特性,在O~35MPa的测压范围内,压力调谐灵敏度为O.034nn∥MPa,有良好的机械性能和稳定性能。通过对实验数据的拟合分析表明:采用这种材料,其中心波长和压力变化有着好的线性拟合度和重复性,且迟滞很小,它们的相关系数都达到0.99,在光传感领域具有实用价值。 3[`/rg,
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关键词:导波与光纤光学;光纤Bragg光栅;压力传感器;衬底材料