光纤Bragg光栅压力传感特性研究摘要：提出了以半导体硅材料作为光纤Bragg光栅(FBG)衬底的FBG压力传感密封型结构，并对其压力传感特性进行了研究，结果表明：FBG的中心反射波长漂移对压力呈现良好的线性响应特性，在O～35MPa的测压范围内，压力调谐灵敏度为O．034nn∥MPa，有良好的机械性能和稳定性能。通过对实验数据的拟合分析表明：采用这种材料，其中心波长和压力变化有着好的线性拟合度和重复性，且迟滞很小，它们的相关系数都达到0．99，在光传感领域具有实用价值。 l(NQk> w
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关键词：导波与光纤光学；光纤Bragg光栅；压力传感器；衬底材料
