目录
译者序
前言
第1章 引言
1.1回顾
参考文献
第2章 定位、定向和测量大小的仪器
2.1准直
2.2定位与跟踪
2.2.1象限光电二极管
2.2.2位置识别探测器
2.2.3光栅位置传感器
2.3激光水准仪
2.4线径测量传感器
2.5颗粒尺寸的测量
参考文献
第3章 激光测距仪
3.1三角测量
3.2光行经时间式测距仪
3.2.1功率的预算
3.2.2系统等式
3.2.3脉冲式测距仪的精度
3.2.3.1时域信号的最佳滤波
3.2.4正弦波式测距仪的精度
3.2.5不定性问题
3.2.6固有的精度和标定
3.2.7发射和接收光
3.3测距仪的改进型仪器
3.3.1脉冲式测距仪
3.3.1.1基本脉冲发生器的改进
3.3.1.2慢脉冲式脉冲测距仪
3.3.2正弦波式测距仪
3.4成像测距仪
3.5脉冲激光雷达
参考文献
第4章 激光干涉测量
4.1干涉测量应用概述
4.2激光干涉仪
4.2.1双光束激光干涉仪
4.2.2双频激光干涉仪
4.2.2.1纳米级位移测量
4.2.3激光干涉测量
4.2.3.1多维测量
4.2.3.2平面度测量
4.2.3.3垂直度测量
4.2.3.4漫反射目标的测量
4.3性能参数
4.4性能极限
4.4.1量子噪声极限
4.4.2时间相干性
4.4.3空间相干与偏振状态
4.4.4介质的色散
4.4.5热相位误差
4.4.6布朗运动
4.4.7散斑相关误差
4.5干涉仪的输出(结构)形式
4.5.1内结构式
4.5.2回射式结构
4.5.2.1弱反馈状态下的回射分析
4.5.2.2回射式干涉仪的带宽和噪声
4.5.2.3 He—Ne回射式干涉仪
4.5.2.4中等水平的回射分析
4.5.2.5三反射镜方式分析
4.5.2.6 Lang—Kobayashi等式分析
4.5.2.7半导体激光回射式干涉仪
4.6激光测振仪
4.6.1短距离测振仪
4.6.1.1高频条纹跟踪
4.6.2中距离测振仪
4.6.2.1条纹稳定型回射式测振仪
4.6.2.2一种普通的回射式测振仪
4.6.3远距离测振仪
4.7回射式干涉仪的其他应用
4.7.1绝对距离测量
4.7.2角度测量
4.7.3弱反射检测
4.8白光干涉仪
4.8.1轮廓测量的应用
参考文献
第5章 散斑仪
5.1散斑特性
5.1.1概述
5.1.2统计分析
5.1.3允许的散斑尺寸
5.1.4散斑统计特性的联合分布
5.1.5散斑相位误差
5.1.6目标移动产生的散斑误差
5.1.7光束移动引起的散斑误差
5.1.8变焦镜头引起的散斑误差
5.1.9探测器的尺寸所引起的相位误差和散斑误差
最新评论
-
cyqdesign 2010-01-22 23:27