1. Mirror: Surface Accuracy 1/10 λ @ 632.8nm ,
194)QeoFw 2. Mirror: Wavefront error < λ /15
rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15
<)H9V-5aZ 请问1/10 和 1/15 在这里是什么意思? 如果能告知原理, 更是感激不尽. Zernike Poly是波前误差的什么多项式, 那么15指什么? 如果能简明告知原理, 感激涕零.
b2Fe<~S{ 我已经被surface form, accuracy, figure, flatness, fringe, irregularity..... 完全
oJz^|dW 搞晕了. 似乎整个工厂都没人懂, 不过zygo上面好像有这些数据, 晕啊, 到底哪个是哪个啊.
+~$ ]}% 请高人指点.
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