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    [求助]膜系设计中TOOLING是什么？怎么算？ [复制链接]

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    离线jakky
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2009-03-10
    求各位大哥,有没有人知道膜系设计中TOOLING是什么东东？怎么算？
     
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    离线zll0605
    技术员
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    只看该作者 1楼 发表于: 2009-03-13
    我所理解的是模拟的与自己操作机器做出来的比值。不知道对不对！
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    离线jakky
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    只看该作者 2楼 发表于: 2009-03-13
    成膜时,进行实际控制的是比较片,但基板因为和比较片位置不同,实际膜厚有较大出入,所以在设计中引入了TOOLING工具因子这个东西. #P]#9Ty:  
    现在麻烦的是不知道这个东西该怎么算出来
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    离线081023
    助理工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2009-03-17
    实际就是一个修正值。不同的设备、比较片与零件的位置、膜料的厂家不同、工艺参数等都会影响这个值的变化。是通过在每台设备实际做后得到的一个经验值。
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    离线wuya02109
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    只看该作者 4楼 发表于: 2009-08-07
    修正值。
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    离线dushuren
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    只看该作者 5楼 发表于: 2009-08-19
    谢谢指教
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    离线gaoxt
    技术员
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    只看该作者 6楼 发表于: 2009-08-20
    修正值,比较片与零件的位置相对蒸发源是不同的
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    离线ttndleaqpy
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    只看该作者 7楼 发表于: 2009-10-25
    tooling value = 實際厚度 / 設定厚度
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    离线wangqw
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    只看该作者 8楼 发表于: 2010-01-15
    7楼说得对
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    离线suninrain
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    只看该作者 9楼 发表于: 2010-01-23
    可以说是晶振膜厚/基片膜厚，，或者是光控片膜厚/基片膜厚
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