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    [讨论]磁控溅射镀膜的话，怎么计算薄膜的掺杂浓度？ [复制链接]

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    离线melody9566
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2009-01-01
    对镀制的金属陶瓷膜（磁控溅射法，金属靶和陶瓷靶共溅射），有哪些方法可以计算出薄膜的掺杂浓度？
     
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    离线fineday36
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2009-02-13
    EDX,EMPA
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    离线fineday36
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2009-02-13
    EDS,EMPA,SORRY,方法很多
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