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五维光学调整架 vF\>;pcT  
技术参数： zgD?e?yPO  
1. X,Y,Z移动距离分别为: .W]k8N E  
      X向: ±7.5mm CR4O#f8\  
      Y向: ±9   mm ^ `LqNG  
      Z向: ±10 mm &'6/H/J  
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; ?Q:SVxzUd  
                   X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 }s,NM%oI  
                   0.005 u\LNJo| B  
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 PUQ",;&y1  
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° i(~DhXz*T  

图片:IMG_2243.jpg

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图片:IMG_2245.jpg

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图片:IMG_2246.jpg