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五维光学调整架 3]LN;s]ac  
技术参数： <$E6oZ  
1. X,Y,Z移动距离分别为: %XRN]tsu  
      X向: ±7.5mm .v`b[4M4  
      Y向: ±9   mm xJ(:m<z  
      Z向: ±10 mm yTAvF\s$(  
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; $H2GbZ-I  
                   X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 |. C1|J'Z  
                   0.005 w:ULi3  
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 FJS'G^  
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° XGs^rIf  

图片:IMG_2243.jpg

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图片:IMG_2245.jpg

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UTk r.T+2X  

图片:IMG_2246.jpg