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五维光学调整架 ]x\wP7x  
技术参数： ~ $&  
1. X,Y,Z移动距离分别为: U7=Z.*/62  
      X向: ±7.5mm $!@f{9+
 
      Y向: ±9   mm de=T7,G#  
      Z向: ±10 mm jd*H$BU^  
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; h]$zub
 
                   X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 _,Y79 b6  
                   0.005 ZC-
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3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 @gz?T;EC  
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° `rV,<  

图片:IMG_2243.jpg

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图片:IMG_2245.jpg

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图片:IMG_2246.jpg