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五维光学调整架 N_$ X4.7p  
技术参数： Qz{:m  
1. X,Y,Z移动距离分别为: f!P.=Qo[=  
      X向: ±7.5mm 8l>/ZZ.NXi  
      Y向: ±9   mm WXNJc  
      Z向: ±10 mm nE]R0|4h  
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; !rb)Y;WQt  
                   X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 CeR4's7  
                   0.005 mn*.z!N=  
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 |GL#E"[&'  
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° h\C  
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