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五维光学调整架 yB][ 3?lv  
技术参数： * V;L|c  
1. X,Y,Z移动距离分别为: &'%b1CbE  
      X向: ±7.5mm p4l^b[p  
      Y向: ±9   mm
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      Z向: ±10 mm R9=K/  
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; W(jXOgs+_  
                   X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 Dn{ hU$*  
                   0.005 V>"nAh]}.  
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 kb"
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4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° ]O%wZIp\P  
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