切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 3283阅读
    • 0回复

    [求助]求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶要如何设置参数 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线b57322710
    实习生
     
    发帖
    6
    光币
    0
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-07-30
    求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶分别如何设置参数 =(D"(OsQ/  
    磁控溅射的 3cL iZ%6^  
    现在网上找的一些资料说溅射温度90 溅射功率200W AR与O2的分压比为40：10 A8*zB=C  
    &4S2fWx  
    但机器上我们不是要设置O2流量与  AR流量 这些我不知道怎么设置 `>)Ge](oN  
    刚进这行没几个月  希望高手给我介绍下
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表