切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 3363阅读
    • 0回复

    [求助]求助:用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶要如何设置参数 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线b57322710
     
    发帖
    6
    光币
    0
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-07-30
    求助:用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶分别如何设置参数 Fyvo;1a  
    磁控溅射的 ;@; a eu  
    现在网上找的一些资料说溅射温度90 溅射功率200W AR与O2的分压比为40:10 S}C[  
    YJ~<pH  
    但机器上我们不是要设置O2流量与  AR流量 这些我不知道怎么设置 R>c>wYt'f  
    刚进这行没几个月  希望高手给我介绍下
     
    分享到