[原创]基于X-Ray LIGA工艺的三维针状结构的多种制造方法 [复制链接]

MEMS的课程论文，写得比较认真，希望对大家有用^_^  传上来挣点分…… ?'$=G4y&?  
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本文主要对具有代表性的三维结构——针形阵列的多种制造工艺作出介绍。包括： -(qoz8H5  
1、移动掩模深X射线光刻（Moving mask deep X-ray lithography,M2DXL）技术 Lz=nJn  
2、改变X射线入射方向的二次曝光方法 =6j  5,  
3、水平型正交横截面技术（Plane-pattern to cross section transfer，PCT） <2ffcBv  
4、X射线灰色掩模技术 7|T5N[3?l,  
并对最新的制造方法：X射线灰色掩模（X-ray gray mask）光刻技术做详细介绍。

真是太好了 正是我想要的

感謝囉~學習研究一下~