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    [求助]请教镀膜的问题？ [复制链接]

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    离线dufflor
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-12-29
    各位大大好，小弟是新手，最近在试镀SiO,发现电子枪的电流不稳定，设定电流大小和镀膜时的电流差大约300mA，过程中，SiO一直有火花飞溅的现象，请问电流为什么没办法稳定在一个范围呢?是不是火花飞溅干扰到电子枪，但降低电流后也有同样的现象?SiO没办法用电子枪直接加热吗?使用机台是天驰1300，请各位大大帮忙给些意见，谢谢! b5^OQH{v  
    nl9P, d  
     
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    离线asdf1234
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    只看该作者 1楼 发表于: 2008-01-02
    是不是材料不平整？另外材料纯度也会有影响 7t*"%]o  
    你换个材料供应商试试
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    离线dufflor
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2008-01-04
    填满镀膜材料后，有压平，但还是一样会电流上升的现象。在镀膜期间，坩埚中心的材料会一直陷下去，镀越久就越深，请问有没有可能是材料陷下去的问题？ L5\WpM=  
    还有，游览文章发现，SiO不能用电子枪直接打,必须用电子枪间接加热，是真的吗？
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    离线凡鸟
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2008-01-13
    可能是没有把料熔透,放气的话电流就不稳,有时回出现打火
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    离线wangxingyu
    技术员
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    只看该作者 4楼 发表于: 2008-03-10
    SIO一般是用在阻抗式蒸发装置上吧
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