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请教镀膜的问题?
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请教镀膜的问题?
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dufflor
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发表于: 2007-12-29
各位大大好,小弟是新手,最近在试镀SiO,发现电子枪的电流不稳定,设定电流大小和镀膜时的电流差大约300mA,过程中,SiO一直有火花飞溅的现象,请问电流为什么没办法稳定在一个范围呢?是不是火花飞溅干扰到电子枪,但降低电流后也有同样的现象?SiO没办法用电子枪直接加热吗?使用机台是天驰1300,请各位大大帮忙给些意见,谢谢!
.@B\&U7
_^SNI ~
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asdf1234
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1楼
发表于: 2008-01-02
是不是材料不平整?另外材料纯度也会有影响
F}sfk}rp
你换个材料供应商试试
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dufflor
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发表于: 2008-01-04
填满镀膜材料后,有压平,但还是一样会电流上升的现象。在镀膜期间,坩埚中心的材料会一直陷下去,镀越久就越深,请问有没有可能是材料陷下去的问题?
cT.1oaAM0
还有,游览文章发现,SiO不能用电子枪直接打,必须用电子枪间接加热,是真的吗?
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3楼
发表于: 2008-01-13
可能是没有把料熔透,放气的话电流就不稳,有时回出现打火
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wangxingyu
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4楼
发表于: 2008-03-10
SIO一般是用在阻抗式蒸发装置上吧
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