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    [求助]要怎么做才能用台阶仪测出透明薄膜厚度？ [复制链接]

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    离线jlxygun
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-10-17
    我磁控溅射在k-9玻璃上做的SiN薄膜是透明的，而台阶仪要求两个面之间有一定的对比度（在显示器上可以分辨出台阶），希望大家给出出主意，怎么处理才能用台阶仪测出SiN厚度呢？谢谢！
     
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    离线huyanah
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-11-07
    坦白的说，台阶很难 QpwOrxI}  
    椭偏可以
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    离线memser
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-11-07
    台阶仪不是接触式测量吗？探针接触扫描曲线，为什么还要有对比度呢，难道我们用的台阶怡不一样，实在不明白，我只知道膜厚太小，《1000A测的不准。不过这个测的不准，用椭偏仪或者VYKO三维轮廓仪测吧。不过用椭偏仪你得知道K-9玻璃的law文件才能测，用VYKO你得光刻做个台阶后才行，都比较准吧。再不就用膜厚仪吧，不怎么准，因为折射率是设定了的，而且可能还不行，因为没有你这基底啊。
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    离线ccc502
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-11-10
    这个问题比较难解决
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    离线yxbxgjs
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    只看该作者 4楼 发表于: 2009-11-22
    在样品上作一个台阶就可以测量了
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